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技術專文

出，減少金屬元素殘留，而洗淨酸劑和有機溶劑劑量影響成 內的金屬析出液易殘留於管末呆酸處(Dead Zone)，此處僅
品金屬殘留量，但隨著洗淨劑量次數增加，會導致成品有機 能透過排放置換舊酸時，由質傳擴散至新酸中，降低金屬殘
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殘留和供應商洗淨成本，如 圖13 。 留，且受濾心濾阻影響，濾心出口管路流速較低，流場擾動
效果差，容易在取樣時，無法確認此處殘留狀況，往往在濾
心瞬間上線時，影響下游設備供應品質，因此開啟濾心末端
閥件置換管末呆酸處的逆洗程序，必含括於洗淨流程中，此
程序需於完成預先排放滿管後執行，預防出口閥開啟後，造
成供應邊出口壓降。

3. 研究方法
圖13、供應商濾心洗淨流程
3.1 原物料、濾心搭配於供應系統條件

2.3 濾心洗淨程序探討 HF25%為僑力化工，物料COA總金屬(Total Metal)殘留
約為65ppt，總計13種金屬，0.03um particle count<45ea
廠務供應系統完成濾心安裝後，傳統自動清洗程序，
(Range : 15~40ea)。
濾心外充填排放(Pre-fill)及排泡(Vent)，接續濾心內充填排放
HF49%為僑力化工，物料COA總金屬(Total Metal)殘留
(Drain)，完成規範洗靜量後，經浸泡(Soaking)，再取樣確認
約為65ppt，總計13種金屬，0.03um particle count<45ea
(Quality check)。於台積電RD廠評估發現，受不同化學品流
(Range : 5~30ea)。
體黏滯性，以及硬體設備濾心前後管路出入口和排泡管路配
IPA為李長榮化工，物料COA總金屬(Total Metal)殘留
置非對稱，造成流體短流，排泡不完全，濾心未浸泡清洗區
約為0.002ppb總計13種金屬，0.03um particle count 25ea
域，有金屬殘留及降低濾效疑慮，因此提倡使用擾流洗淨解
(Range : 20~40ea)。
決方案。
HAPAS 2nm濾心為廠牌Pall ® ，分別10吋及20吋。(圖15)
• 預先充填排放和擾流排泡(Pre-Fill& Vent) : 開啟排泡閥充填
PTFE 2nm和10nm濾心為廠牌Entegris ® ，分別10吋及
排放，使濾心外充滿化學液，當溢流排放後，同步執行短
20吋。(圖16)
間格開關排液閥，擾動滲透有助於濾心內氣體排空。
PS 1nm濾心為廠牌Entegris ® ，分別10吋及20吋。(圖17)
• 擾流排液(Flush) : 排液程序過程，追加短間格開關閥排泡，
增加濾心外盲區溢流，目的增加濾膜潤洗，減少濾心開始
使用後帶出微泡。
• 浸泡(Soaking) : 當化學液充滿濾心內外後，需經長時間靜
置浸泡，使濾心內微泡和不純物擴散，達平衡狀態後，再
執行排放置換或排空化學液程序，以達洗淨效果。

此方案應用於大尺寸(20")濾心、多並聯濾心、小孔徑濾
心及高黏度流體，可克服洗淨不完全區域和短流盲區效應，
如 圖14。
由於系統拆卸濾心前，執行氮氣充吹濾心後，管路呈現 圖15、Pall ® HAPAS 2nm濾心型錄
空管下更換，在安裝鎖固後的第一次預充填時，沖洗於濾心

圖14、擾流洗淨程序流程示意

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