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Tech
Notes
技術專文
5.2 建議
本研究以廢硫酸去除雙氧水系統設計與反應參數最佳化
探討，為了進一步證實廢硫酸去除雙氧水系統設計與反應參
數影響，未來建議方向如下：
① 建議未來新廠規劃廢硫酸去除雙氧水系統中桶槽形式，
採用直立式桶槽，同樣操作負壓條件下與相同為八分滿
液位，其受力表積較小，且有較長的使用壽命。
② 建議未來新廠規劃廢硫酸去除雙氧水系統中濕式洗滌塔
形式，採用CPVC材質的濕式洗滌塔，其對於廢硫酸反
應過程中的鹽酸與雙氧水較好得耐化性及耐溫性，適用
於廢硫酸去除雙氧水系統中的鹽酸催化法。
③ 建議未來新廠設計與既有廠系統供應商為信紘且為鹽酸
管中循環加藥形式，進行鹽酸加藥管路改管至反應液面
之下，批次反應時間與鹽酸加藥量減少，達到整體產酸
量增加。
參考文獻
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Semiconductor Manufacturing Plant(Sulfuric Acid Recycling
Technology), Oki Technical Review 160, January 1998. ②Yoshihiro
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[04] 經濟部產業節水再生技術手冊。
作者介紹
曾治寰 C.H. Tseng
Live well, love lots, and laugh often.
善待生活，熱愛一切，經常開懷大笑。
郭中閔 C.M. Guo
No pain, No gain.
一分耕耘一分收獲。
劉柏青 P.C. Liu
Take one simple idea and take it seriously.
凡事往簡單處想，往認真處行。
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