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TSMC / FACILITY PUBLISHED
VOL.44
廠務季刊

URL.http://nfjournal/

靜電防治做得好，工作沒煩惱

Static electricity prevention is done well, no worries at work!

文│林佳瑩│台南廠務五部 │

摘要 / Abstract

半導體製程中高分子有機溶劑為常見使用之化學品，因其低導電率特性，廠務端供應機台容易經高分子有機溶劑流動摩擦
發生靜電擊穿現象增加供應上之風險。在不影響廠務端穩定運轉卻能達到靜電防治效果狀況下建議供應機台使用抗靜電材料。
廠區內常見之抗靜電材料有不鏽鋼管路、鋁箔紙、抗靜電套環、抗靜電管，本研究選用兩種高分子有機溶劑IPA與PGMEA在不同
流速下找出最佳靜電防治方法，結論為在先進半導體製程廠務端供應機台以鋁箔紙與抗靜電套環防治效益最佳。

關鍵詞 / 高分子有機溶劑、導電率、靜電擊穿、靜電防治

Polymer organic solvents are commonly used chemicals in semiconductor manufacturing. Due to its low electrical
conductivity, facility is prone to electrostatic breakdown through the flow and friction of polymer organic solvents,
increasing the risk of supply. It is recommended to use antistatic materials for table operation in the facility and can achieve
the effect of electrostatic prevention.Common antistatic materials in the facility include stainless steel pipes, aluminum
foil, antistatic rings, and antistatic tubes.In this study, IPA and PGMEA, were selected to find the best antistatic method at
different flow rates.The conclusion is that the antistatic method of Aluminum foil and antistatic rings is the best.

Keywords / Polymer organic solvent, Conductivity, Electrostatic breakdown, Static electricity prevention

1. 前言 2. 文獻探討

隨著半導體製程演變，近年來使用之高分子有機溶劑也 2.1 靜電生成原理
越來越多，廠務端其供應機台面臨靜電擊穿現象，常見的擊穿
液體在管路內流動，因兩種不同物質的接觸摩擦，電子
案例有閥件膜片擊穿而閥體無法開啟影響供應、管路與濾心外
會產生分離現象，若兩種物質皆為導體則電子並不會完全分
殼擊穿導致化學品洩漏影響線上機台供應穩定性。常見之工業
離，而在完全分離前移動電子便會跑回原物質端，故兩導體間
靜電防治方法為增加濕度、抗靜電材料接地、靜電消除器、限
之接觸摩擦，並不容易產生靜電。若兩者物質中至少有一方為
制速度，但因製程需求不易調整環境溼度與供應條件，因此抗
非導體，電子移動使一端帶正電，另一端帶負電，電荷分離現
靜電材料接地為最適合之靜電防治方法。
象而形成靜電。
而影響高分子有機溶劑供應機台靜電嚴重度主因為流體
絕緣性之液體在管路中流動，液體與管壁帶有不同急性
之流速，因高分子有機溶劑低導電率特性隨著流速增加，靜電
之電荷，當液體絕緣性很高時，液體中的電荷會隨液體流動，
值隨之增加。廠區內常見之抗靜電材料有不鏽鋼管路、鋁箔
電荷流動即形成流動電流(Streaming Current)。
紙、抗靜電套環、抗靜電管，本研究探討在不同流體流速下，
靜電放電為物質經由摩擦、感應起電等過程進而獲得
各靜電防治方法之防治效益，以提供廠務端運轉之參考。
或失去電子(圖1)，當這些正電荷或是負電荷逐漸累積時，會

與周圍環境產生電位差，電荷若是經由放電路徑而產生在不

FACILITY JOURNAL 12 2021 63