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技術專文

TSMC / FACILITY PUBLISHED
VOL.45
廠務季刊

URL.http://nfjournal/

煙道酸鹼連續監測(Online IC)精確度提升改善及其應用

The accuracy and application of Online IC in Stack monitoring

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文│溫閎元 錢立行 趙世閔 │ 亞太廠務處 新竹廠務四部│
摘要 / Abstract
於廠務運轉，各項污染物減量改善也隨之展開，如酸槽機台IPA(異丙醇)源頭改善及排放減量，煙道不透光率及F 2 (氟氣)異味
改善。在這些項目執行過程中，選擇以何種方式量測污染物及驗證改善成效更是重中之重。現行運轉廠中煙道已建立連續監測
系統如IPA monitor、F 2 monitor及Opacity白煙即時監測系統效掌握廠區空污排放狀態，本團隊在廠區既有的PPWD+IC monitor
基礎上，加上蒸氣，與樣品氣體混流，在微粒子上凝結成液滴，最終收集於水相採樣液中，用以提升即時監測煙道排氣中氫氟
酸、鹽酸、硝酸、磷酸、硫酸、氨氣濃度等精準度，有別於業界以傳統採樣手法取樣分析曠日廢時的作法，於污染源排放的第
一時間即時發現並改善。

關鍵詞 / 煙道酸鹼量測、高效率的平板式濕式分離器、離子層析儀、蒸汽冷凝

This work investigates the steam condensation system be using in online HYPERLINK "https://www.sciencedirect.com/
topics/chemistry/ion-chromatography" ion chromatography(IC) to measure Hydrofluoric Acid, Nitric acid, hydrochloric acid,
Sulfuric acid, phosphoric acid, Ammonia in stack of semiconductor industry. For the quantification of air pollutants emitted into
the atmosphere from industrial plants, reliable sampling methods are required. In comparison to traditional Acid/Ammonia
manual sampling with manpower, where up to a lot of emission data have to be measured and get results quickly, Using steam
condensation system with online ion chromatography(IC) significantly reduces the analysis time, facility engineer could be
emergency response for realtime air pollutants emission issue.

Keywords / Monitoring of Acid and Alkali in Air Pollution, PPWD, IC, Steam

1. 前言

1.1 研究動機 其中VOC所使用的監測設備為總碳氫化合物氣體分析儀，透
過火焰離子化偵測器(Fire Ionization Detector, FID)去即時分析
隨著環保意識抬頭，社會大眾對環境議題越來越在乎，
目前煙囪的有機廢氣的排放濃度，可以隨時觀察有機廢氣的排
尤其空氣污染近來年更是焦點中的焦點，而空氣污染防制法也
放有無異常。然而，酸鹼洗滌塔卻沒有濃度的即時監測設備，
隨之越來越嚴格。TSMC近年來的產能以及製程不斷地走在世
僅透過各操作參數(pH值、導電度、循環水流量等)去觀察。要
界的前端，而空氣污染物的排放量也隨著增加。因此，空氣污
得到酸鹼廢氣的排放濃度，委由檢測公司進廠使用Impinger進
染物的排放減量以及監測就變得十分重要。
行採樣並分析，且分析時間至少需要一個月才能得到結果，無
1.2 研究背景 法隨時掌控酸鹼廢氣的排放是否有問題。

目前廠區的AAS(Air Abatement System)主系統設備主要
分為酸性洗滌塔、鹼性洗滌塔以及VOC沸石濃縮轉輪系統。

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