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技術專文

圖7、雙膜理論應用於Central Scrubber煙道排放HF之去除
圖9、循環水pH值與酸鹼排放濃度試驗-SEX煙道濃度趨勢圖

圖8、HF於水中完全解離後去除效率與pH線性正相關 圖10、循環水pH值與煙道酸鹼污染物濃度盒鬚圖

本團隊於實廠分別測試pH=8、9、10、10.5、11時空污排
放之表現(Fab12B補水採用MAU Air washer冷凝回收水，pH接
近8；實測顯示Fab12B Central Scrubber加藥Pump可增加之
pH極限為pH=11)，每項參數皆收集一整日之數值(至少24筆)
再進行分析，測試結果如 圖9。
從 圖9Steam煙道連續監測結果可得知不同製程機台、廠 圖11、循環水pH值與NaOH加藥量關係圖
務設備高濃度排放時間不同影響AAS煙道排放濃度，以現行人
工採樣手法(標準檢測 : 2-3Hr 1筆，單日2筆)，若改善前採樣時
5. 結論
間落在排放濃度低之區間，改善後採樣時間落在濃度高之區
間，即造成誤判，反之亦然。雖然煙道排放酸鹼污染物濃度 現行人工標準採樣手法進行煙道檢測，每次檢測時間約
變化大，但觀察以Steam煙道連續監測進行長時間量測後之平 2-3小時、採樣設備安裝拆卸至少耗時4小時，當日最多上下
均值變化發現(圖10)，循環水pH值從設定9→10總酸排放下降 午各採集一筆濃度數值，若委由第三方公證單位採樣須等待
11.6%，NH 3 排放無顯著上升(NH 3 主要排放上升段為pH8→9)， 4週才會收到檢測結果，另外因製程及上游廠務設備的運轉、
若pH9→8 NH 3 下降28%，但酸性離子濃度則上升5-60%不等。 上下貨、Flush、灌充等特性，使人工檢測觀測空污設備參數
Central scrubber循環水加藥調控pH(供應OH )之方法為來 調整並不即時及容易受源頭排放影響，排放異常升高時也無
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自水處理課供應之NaOH(45%)，本實驗於調整pH收集長期煙道 法立即發現。
排放酸鹼污染物濃度的同時也進行加藥量監測(圖11)，當Central Fab12B架設AAS煙道連續監測系統結合Online IC，期
scrubber循環水pH10→11，酸下降8.0%，但NaOH加藥量(+4.7L/ 望藉由連續監測提升工程師針對不同源頭及濃度之Central
Hr)上升幅度遠大於pH9→10(+1.1L/Hr)，比對循環水中各成份之pH Scrubber進行參數優化，但既往使用Denuder做為排氣污染
物收集方式對粒狀物效率不佳(主要為捕捉氣態污染物)，但
平衡圖發現pH10→11之間由空氣中洗滌下CO 2 組成的離子態HCO 3-
會大量轉成CO 3 ，釋出H 與NaOH中和，造成用量增幅明顯。 半導體工廠特性為SEX、AEX煙道空氣污染物粒狀占比皆大於
2-
+
50%，若無法捕捉粒狀物將無法呈現整理之改善水準。AAS
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