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4. 結果與分析 道連續監測系統所得到之濃度趨勢與傳統第三方檢測手法具
高度相關性，相關係數0.85-0.97之間(表4)，煙道濃度較高者
4.1 與傳統第三方檢測單位採樣手法進行同步比對
如HF、HCl呈現較高相關性(Conc.>0.1mg/m )，H 2 SO 4 因煙
3
以此種蒸汽成核冷凝法(Steam)AAS煙道連續監測系統結 道濃度低至0.02mg/m 以下，偏差較HF、HCl大，NH 3 差異
3
合Online IC實際架設於Fab12P7煙道，分為兩部分探討對於 來自採樣手法，現行第三方檢測單位使用之定檢手法NIEA
AAS工程師實際應用於即時發現排放問題、空污設備參數調整 A408.71A只針對氣態NH 3 ，但其實半導體廠中廢水區、酸槽
最佳化、污染源排放特性觀測與尋找。 機台、研磨液中皆有酸性化學物質及含氨物質混合使用之情
第一階段驗證其與長時間濾紙、水樣採樣之相關性，本 況，粒狀NH 4 鹽佔排放比例高，SEX煙道粒狀氨鹽佔總氨排放
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廠工程師安排Steam煙道連續監測系統與第三方檢測單位於 平均53%，氣狀只佔47%，AEX煙道粒狀氨鹽佔總氨排放平均
酸(SEX)、鹼(AEX)煙道進行同步採樣，第三方檢測單位採樣手 35%，而Steam法結合連續監測IC可將排氣中之氨鹽微粒及氣
法HF, HCl, HNO 3 , H 3 PO 4 , H 2 SO 4 採用環境檢驗所「排放管道氫 態NH 3 皆捕獲至水樣中。(圖6)
氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸及硫酸檢測方法-等速吸引法(NIEA 比對Steam法連續監測IC與傳統標準採樣手法進行濃度
A452.73B)」，氨氣採用「排放管道中氨氣之檢測方法-靛酚法 差異分析，兩者呈現出絕對值差距為22-60%，但相關係數達
(NIEA A408.71A)」，採樣完成後約等待4週時間即可得第三方 0.85-0.97，因此Steam煙道連續監測系統連續監測之AAS煙道
檢測單位測值。 讀值尚無法當作定檢絕對濃度值取代人工採樣，但濃度趨勢的
同步採樣分析結果顯示，在AAS酸鹼煙道中以Steam煙 高度相關性可作為調整空污設備參數之即時回饋。
表4、Steam煙道連續監測系統與人工標準採樣手法同步比對相關性分析表
圖6、Steam煙道連續監測系統與第三方檢測單位同步採樣濃度趨勢
4.2 利用Steam煙道連續監測系統驗證Central Scrubber 常升高(如高濃度前端機台Turn on)更無法立即發現。
pH參數對空污酸鹼排放之影響 依第一階段之分析結果進行空污設備參數調整對酸鹼
排放之驗證，嘗試以Steam煙道連續監測系統即時觀察SEX
現行的空污設備參數調整作法常見包含 : 開立採樣訂單，
Central Scrubber pH參數對空污酸鹼排放之影響，依Central
調整前後請第三方檢測單位以標準採樣手法進行煙道檢測，每
Scrubber污染物去除原理稱為雙膜理論，傳輸速度取決於濃
次檢測時間約2-3小時，安電腦入廠、採樣設備安裝拆卸至少
度梯度，水中HF、HCl等濃度越高氣液傳輸越慢(圖7)，實廠以
耗時4小時，當日最多上下午各採集一筆濃度數值，遇雨需延
Dosing NaOH提高pH，將酸鹼解離，降低水 中濃度，韓國機
後至別日，採樣完成後須時4週等待檢測結果，但受數量龐大
械材料研究院(Bangwoo han, 2007)曾指出循環水中pH達8.2能
的不同製程機台、廠務設備高濃度排放時間皆不同影響，往往
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100%解離成H +F ，完全解離後去除效率與pH線性正相關。
同樣的實驗重複進行確會得到不同的結論，使得利用人工檢測
(圖8)
優化空污設備參數並不即時及容易受源頭排放影響，而排放異
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