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圖6、電漿式Local Scrubber


                ④ 乾式吸附式
                                                                              圖8、F12P3廠區防制設備節點分依法
                    乾式吸附式Local Scrubber，主要處理水溶性不高的氣
                體、毒性氣體、全氟化物(perfluorocompounds, PFCs)等廢            3.2  各製程適用LSC型式選定
                氣，處理方式有常溫操作及高溫觸媒反應吸附，主要應用於尾
                                                                       依照TSMC各製程對應之LSC進行汰舊換新。(表3 表4)
                氣量較少的製程如離子植入及蝕刻，處理原理是將高毒性之氣
                體採用不可逆的化學吸附反應，處理方式為主機台Dry pump
                                                                         表3、N4x-N16 Local scrubber各製程選機表
                將製造過程中產生的化學廢氣推進乾式吸附式Local Scrubber
                的藥劑桶，經由藥劑桶內的化學粉劑進行被動式化學吸附後，
                再由酸性排氣將氣體抽入風管中，並利用Gas sensor判斷藥劑
                桶是否還有作用。


                3.  研究方法

                3.1  製程污染物來源分析
                    利用廠區污染防制設備管路節點分析法(如  圖8)搭配
                TLD-1(如 圖7)來查詢排放濃度較高的區域，針對各區域現址
                式廢氣處理設備汰舊換新。



                                                                         表4、N10-N5 Local scrubber各製程選機表











                          圖7、ChemKeyTM TLD有有毒氣體偵測器














                                                                                             FACILITY JOURNAL        03  2022  21
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