Page 32 - Vol.45
P. 32

Tech
                                                                                                    Notes
                                                                                                    技術專文


                                                  TSMC / FACILITY PUBLISHED
           VOL.45
                                                   廠務季刊


                                                     URL.http://nfjournal/



           濕式製程微粒攔截新技術應用(WET-EP)

           Application of a new technology for capturing wet bench process produced
           particles-wet electrostatic precipitator(Wet-EP)


                                                                                        2
                                                                                                  2
                                                                                   1
                                                                                         1
                                                                            文│林尚志  田麒鈺 │ 新竹廠務九部  新竹廠務四部│
           摘要 / Abstract
              本研究主要針對高溫硫酸清洗機台(HT-SPM)排放的廢氣進行改善，該設備除了化學品用量的增加外，從N16到N3風量也由
           2,400CMH增加到7,200CMH。這些廢氣中不僅含有大量的酸鹼氣體，更因酸鹼混排產生了大量的PM 2.5 。過去在處理酸鹼氣體時
           皆使用現址式濕式洗滌塔(Wet Local Scrubber, WLSC)，雖然對酸鹼氣體的去除效率可達90%，但對PM 2.5 的處理效率不佳。為了
           能夠有效地同時處理酸鹼氣體及PM 2.5 ，本團隊率先導入濕式靜電集塵器(Wet-EP)來處理HT-SPM的廢氣。測試結果顯示，Wet-
           EP對酸鹼氣體及PM 2.5 的去除效率分別為91%及93%。本團隊將持續評估Wet-EP於常溫酸槽機台的應用，以期每年減少數十噸至
           數百噸之PM 2.5 ，朝零排放之願景邁進。

           關鍵詞 / 高溫硫酸、靜電集塵、PM 2.5 懸浮微粒、溼式靜電集塵、電暈放電

              In this work, we focus on enhancing the performance of treating exhaust gases caused by HT-SPM process. For HT-SPM
           tool, from N16 to N3 process, it not only increases the use of chemicals, but also increases the exhaust gas flowrate from 2,400
           to 7,200 CMH. The exhaust gases from HT-SPM process contain great amount of acid and base gases, such as NH 3  and H 2 SO 4 ,
           as well as PM 2.5 . Traditionally, wet type local scrubber(WLSC) is used to treat acid and base gases having destruction removal
           efficiency(DRE) as high as 90%, yet the particle removal efficiency(PRE) is low. Thus, we firstly imported a wet electrostatic
           precipitator(Wet-EP) to treat acid, base gases and PM 2.5  emitted from HT-SPM process at the same time. The results show that
           the DRE for acid and base gases could be as high as 90%, and PRE for PM 2.5  is about 91%. According to this success case, our
           team will keep on evaluating the application of Wet-EP on treating exhaust gases resulting from normal SPM process or other
           tools, hoping to decrease dozens to hundreds tons of PM 2.5  emission.

           Keywords / HT-SPM, Electrostatic precipitator(EP), PM 2.5 , Wet-EP, corona discharge



           1.  前言

              本廠煙道排放自檢的結果顯示，VEX煙囪的氨氣(NH 3 )及                 而這些PM 2.5 經主要為硫酸銨(NH 4 ) 2 SO 4 微粒。由於Salix對PM 2.5
           硫酸(H 2 SO 4 )氣體的排放量較SEX及AEX高，代表這些廢氣在進             的去除效率不佳，且氣流在經過Salix後會形成高濕度的環境，
           入VEX前未被妥善處理。從煙道到機台端尋找來源後發現這些                      使固態硫酸銨微粒潮解為液態微粒，進而再釋放出氨氣及酸氣
           氣體主要由高溫硫酸清洗機台(HT-SPM)貢獻。因HT-SPM除                  [01] ，導致廢氣中的NH 3 及H 2 SO 4 氣體濃度較高，顯示了去除設
           了使用到酸鹼化學品外，也使用了IPA來清洗wafer，故而選擇                   備對PM 2.5 控制的重要性。有鑑於此，如何同時處理氣狀及粒
           以VEX-沸石轉輪系統來處理有機氣體。雖然在HT-SPM的下游                   狀汙染物成了一大挑戰。
           已經以高效的水洗式的WLSC Das Salix5000來去除酸鹼氣體，                  目前廠內大多以WLSC搭配加藥來去除酸鹼氣體，雖然氣
           但仍有大量的酸鹼氣體被排放至煙道。進一步採樣發現，HT-                      體破壞去除效率(destruction removal efficiency, DRE)可達90%
           SPM除了會產生大量的酸鹼氣體外亦會產生高濃度的PM 2.5 ，                  以上，但對微粒去除效率(particle removal efficiency, PRE)不

           30
   27   28   29   30   31   32   33   34   35   36   37