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表1、Wet-EP之微粒進出口濃度、排放量與PRE
圖3、Wet-EP現場配置圖
在氣體部分(表2)，Wet-EP對NH 3 氣體具有極佳的去除效
率，約為95.5%，且對IPA也有75.6的去除效率。然而對H 2 SO 4
的去除效果卻不佳，僅有41.5%。這主要是因為在製程中大
部分的酸氣皆與鹼氣混和成PM 2.5 ，且因鹼氣的用量較大，因
此絕大多數的酸氣都被反應為微粒，而多餘的鹼氣則隨著排
氣進入風管。由過去的測試結果已知，當酸鹼氣體在低濃度
時，會有去除效率不佳的問題。由可結果可知HT-SPM排放的
圖4、Wet-EP & Das Salix5000並聯測試示意圖
硫酸氣體含量極低，煙囪硫酸氣體濃度過高的問題主要是由
PM 2.5 潮解為液滴後再釋放出酸鹼氣體導致。在用水量方面，
4. 結果與討論
Salix5000為16.7L/min，Wet-EP為8.5L/min，約為Salix5000的
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4.1 PRE與DRE 1/2。年用水量節省了約300,000NTD/m 。
量測結果顯示，HT-SPM排放的微粒主要為PM 2.5 (圖5⒜)，
表2、Wet-EP之氣體進出口濃度、排放量與DRE
其中又以0.4-1.0 m占最多，約為總質量濃度的63% (圖5⒝)，
進一步將進出口的PM 2.5 濃度與風量進一步換算為去除效率的結
果如 表1所示。Wet-EP對0.1 m以下微粒的PRE為87%；0.1-0.4
m為86%；0.4-1.0 m為94%；1.0-2.5 m為89%；2.5-10 m為
86%，PM 2.5 的去除效率為91.2%。相較之下Salix5000的PM 2.5 的
去除效率僅為36.6%(過去測試結果)。顯示了將Salix5000更換為
Wet-EP可以大幅的減少PM 2.5 的排放量。
4.2 Wet-EP理論模式vs.實測結果
Wet-EP理論線與實際值的比較結果如 圖6所示，理論線
是根據的2.3章節之模式計算得到，而實際值則是根據ITRI的
MOUDI採樣結果計算所得。結果顯示，對<0.1 m的微粒的實
際效率較理論效率低了約10%，這可能是因為在手動採樣時
因<0.1 m微粒的質量濃度較低所造成的採樣誤差。而0.8 m
以上的微粒PRE之實際值高於理論值約5-12%，這是因為前段
Wet-EP/Salix5000 inlet (From HT- SPM)
水洗有部分凝核成長及去除較大顆微粒的功能。由結果可以
圖5、Wet-EP入口 看出，理論收集效率曲線呈U型結構，與文獻提及的相同。另
左 : PM 2.5 質量濃度分布。右 : 各個粒徑微粒占比 外，微粒最低的收集效率為80%@0.8 m，這是因為基於安
全考量將Wet-EP的操作電流控制在20.3mA的安全值，若是將
操作電流提高到25.0mA，則收集效率會高於90%，且對HT-
SPM排放的PM 2.5 之總PRE可提高至95-97%，然而這需要更進
一步的安全評估與設計。
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