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Tech
                                                                                                    Notes
                                                                                                    技術專文


                                                             HT-SPM的標準處理設備(BOM表)。後續本團隊將持續評估
                                                             Wet-EP用於處理其它製程廢氣的可行性及效益。

                                                             參考文獻
                                                             [01]   Parsons, M.T., Knopf, D.A., & Bertram, A.K. (2004). Deliquescence and
                                                                 crystallization of ammonium sulfate particles internally mixed with
                                                                 water-soluble organic compounds. J. Phys. Chem. A, 108(52), 11600-
                                                                 11608.
                    圖6、Wet-EP PRE : 理論vs.實際測值                [02]   Chang, C.L., & Bai, H.(1999). An experimental study on the
                                                                 performance of a single discharge wire-plate electrostatic precipitator
                                                                 with back corona. J. of Aerosol Sci., 30(3), 325-340.
                                                             [03]   Xiao, L., Zhang, M. and Wang, Y.(2018). Study on collection of the
           4.3  煙道採樣分析
                                                                 particles in waste gasification gas by wet electrostatic precipitator.
              煙囪採樣的結果顯示，在HT-SPM(JDCRSH)下游改以                      Adv. Eng. Res., 170, 1578-1585.
                                                             [04]   Lin, G.Y., Chen, T.M., & Tsai, C. J. (2012). A modified deutsch-anderson
           Wet-EP後，煙道VOC0102、VOC0304、及VOC0506(F12P6採             equation for predicting the nanoparticle collection efficiency of
           兩台轉輪共管一煙囪之設計)之硫酸年排放量分由0.51、0.14及                      electrostatic precipitators. Aerosol Air Qual. Res., 12(5), 697-706.
           0.21ton/year降低為0.29、0.12及0.20ton/year，共降低了0.24
           ton/year，如 圖7所示。進一步採樣及分析VEX煙道及硫酸的                 作者介紹
           來源後發現，VOC下游機台的硫酸用量約有99%的供應到HT-                             林尚志  S.C. Lin
                                                                      藉由Hook  up、LSC、SP1、AAS一條龍多年經驗找出問題
           SPM製程。目前為止，本廠區仍有4台HT-SPM未改善，因此
                                                                      點，以最佳的方法徹底改善PM 2.5 的問題。
           若是全部改以Wet-EP處理該製程的廢氣大幅減少硫酸的排放
           並解決PM 2.5 的問題。                                             田麒鈺  C.Y. Tien
                                                                      國立交通大學環境工程研究所碩士。
                                                                      國立交通大學環境工程研究所博士。
                                                                      2021台積電廠務處工程師。


















                          圖7、煙囪採樣結果


           5.  結論
              本團隊於2020年導入Wet-EP並應用於處理HT-SPM製程
           產生的廢氣，並評估及分析VEX煙囪硫酸氣體過高的原因。
           結果發現主要是由製程端產生的PM2.5經過Salix5000吸溼潮
           解(RH>95%)後形成的硫酸銨液滴，進而再釋放出酸鹼氣體導
           致。經改善後不論是在機台下游或是煙道均看到了顯著的成
           效。根據採樣結果，單台HT-SPM在全年全時運轉的條件下
           (full run)，PM2.5的排放量為0.6ton/year，若以Wet-EP處理
           廢氣，不僅可以將PM2.5的排放量降低為0.06ton/year，還能
           解決大部分酸鹼的問題。以F12P6為例，若HT-SPM下游全部
           配置Wet-EP，則每年能減少2.73ton的PM2.5及1.44ton的硫酸
           氣體，距離綠色製造更進一步，而目前Wet-EP也已經被納入



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