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Tech
Notes
技術專文
圖13、現址式處理設備方法
圖10、AEX HF節點分析結果 5. 結論
① 中央洗滌塔廢氣處理系統透過硬體/軟體面的改善與調整
和制訂清洗回填填充物SOP可有效地抑制污染物排放濃
度，往後只需要定期的清洗PM洗滌塔和定時的監控運轉
參數即可將洗滌塔保持在最佳狀態。
② 利用節點分析污染物來源且收斂至濃度較高的區域，其
中並針對POU機台端的使用原物料化學特性做現址式廢
氣處理的改善勢在必行。
③ 汰換老舊效率不佳的現址式廢氣處理系統並對應廢氣污
染物內容選擇效率較高的standard LSC也是未來發展的
趨勢。
經過上述各點努力安排執行能使縱使運轉超過30餘年的
老舊廠區能脫胎換骨並且再戰30年。
參考文獻
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作者介紹
魏君穎 Chun Ying Wei
國立中央環工所畢業，於2021年退伍後加入台積電廠務大家
庭，投身於AAS系統運轉並累積實務經驗，目前負責Central
scrubber系統，致力於系統穩定及空污改善規劃。
圖12、現址式處理設備效率驗證
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