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現況的排放法規，故適時地檢測煙囪排放的污染物種類和濃度 ⑥ 液氣比
就成為了重要的課題，當知道污染物的排放種類(EX : 粒狀物 ⑦ 操作參數之評估與設計
or氣狀物)才能對症下藥做適當的處理。另外因F2現址式空氣 ⑧ 填充高度之設計
處理設備約莫有200多台，大部分機型為早期處理效率較差的
以目前研究單位和半導體及光電業之廢氣洗滌塔效率提
產品(EX : GRC/burn box/CDO/GDO/Wet Scrubber等)，故做
高之研究實例，大致上可歸納於以下方法如 表1所示：
適當的汰舊換新以符合現行更嚴格的空污排放法規也是首要需
著重的主題之一。
表1、洗滌塔參數調整對效率的改善
2. 文獻探討
對於酸性廢氣的處理，濕式洗滌(Wet Scrubber)是目前常
見運用於半導體業的廢氣處理設備，其是用吸收技術將製程中
所產生的廢氣進行清洗淨化處理，而吸收法就是洗滌法，係指
氣態污染物於廢氣與洗滌液接觸時，藉由分子擴散、紊流等品
質傳送及化學反應等象傳入洗滌液，使污染物質分離而去除，
以達到淨化空氣的效果，屬於操作簡單且設備建構費用較低之
[04]
種類(林政鑒等，2002) 。
運用洗滌法之設備即為洗滌塔，濕式洗滌塔其理論源自
於Whitman於1923年提出的介面傳質動力學理論-「雙膜理 3. 計畫方法
論」Two-FilmTheory)(如 圖3)。在氣相與液相相接時會存在一
本文即著重在 : ⓐ廢氣處理設備硬體和軟體的效率改善
個穩定的相接面，液體和氣體各形成一層薄膜(液體稱液膜，
(其中也包含現址式空氣處理設備的汰換)；ⓑ重新檢討管路的
氣體稱氣膜)，氣相污染物先以對流的形式傳到氣膜邊緣，再
分流情形、並搭配第三方認證單位的檢測來有效地減少空氣污
以擴散方式由液氣介面進入液相 [01][02][03] 。
染物的排放濃度值並達到再造友善的工作環境以達到綠色工廠
的終極目標。
其中廢氣處理硬體和軟體效率的效率改善就根據文獻中
所記載的方向做調整 ，故F2執行的內容如下所示：
[05]
① 填充物更換(2吋梅花改為1.6吋旋風)使比表面積從186至
2
3
306(m /m )
② PH值調整從8.5至9.5
③ 排水流量調整從15到35(ton/day)加大排水以降低導電度值
(ms/cm)
④ 制定洗滌塔清洗後填充物的回填SOP讓廢氣不會有未處理
經過短流的部分(圖4)
⑤ 檢視每台洗滌塔空塔滯留時間是否>2.5(m/s)，不符合的
圖3、雙膜理論示意圖
部份則重新調整風車運轉Hz以降低流速(m/s)
⑥ 檢視每台洗滌塔液氣比，離群的部分則將循環水路的部
其中濕式洗滌塔可處理廢氣中的粒狀及氣狀污染物，設
分做調整(EX : 清潔y-strainer、清潔灑水頭、保養循環水
計取決於製程廢氣的化學品種類、削減率及處理風量等，再加
pump等)
上實地場地的大小及位置來做考量，一般設計洗滌塔需考慮幾
⑦ 檢測來源端水質並且和水課合作將水源更換成叫乾淨的
個部份如下所示：
MAUR取代現有的BG回收水(未來目標)
① 尺寸
[06]
② 噴嘴的選擇 廢氣管路分流的部分則是利用管路節點分析法 搭配SPM
③ 洗滌塔本體 Flex的使用來查詢。
④ 潤濕因子 排放濃度較高的區域並收斂至單一機台POU端(圖5)，接
⑤ 填充物之比表面積 著再針對各機台做現址式廢氣處理設備的汰舊換新(圖6)。
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