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Tech
Notes
技術專文
2. 文獻探討
2.1 半導體業有機污染物-非甲烷碳氫化合物(NMHC)
台積針對空氣污染排放管道類別，依主要處理污染物特
性區分為 : 酸性排氣、鹼性排氣、有機排氣以及一般排氣，台
積公司採用「排氣源頭有效減量、末端防制設備強化處理」利
用源頭分類、多段有效處理的最佳可行技術，並與業界專家持
續合作，提升末端防制設備處理效能，使排入大氣的污染物含
量符合或優於政府規定。
其中除了移動污染源車輛的增加，工廠所排放所產生的
污染亦成為一項大宗的污染．其中之氮氧化物(NO X )與非甲烷
碳氫化合物(NMHC)經由日光的照射便會形成臭氧(O 3 )，而臭
氧除了對植物及金屬物質有所損害之外，對人體亦會產生直接 圖2、KT-1000FA之P&ID圖
性的傷害。
因此台積在進行進行SEX NMHC減量計畫(技術通報內容)
調查時發現，部分CVD製程的LSC出口NMHC讀值偏高，追查
其Tool process僅使用C 3 H 6 ；由於在45nm時期CVD各製程都
是安裝電熱式KT1000FA，電熱式LSC對於有機物的處裡效率不
佳，導致出口NMHC讀值過高議題。
2.2 電熱水洗式現址式尾氣處理設備
電熱式現址式尾氣處理設備(Themal-Wet Loacl Scrubber)
主要是利用電熱器於爐體產生高熱與氧氣反應燃燒，透過高溫
將製程的尾氣作熱裂解消減其污染特性。
KANKEN_KT-1000FA為電熱/水洗式LSC佔大宗機型，常用
於處理CVD製程尾氣系統，它混合了熱氧化分解及水溶解之過
程，將製程所產生之的廢氣，利用特殊設計的反應室，反應成
粉末或是溶解於水中的物質，在經過後段之完全有效處理才排
圖3、FA與FA(HC37A)之HEATER差異
放致廠務中央處理系統。
CVD製程現行電熱式LSC主要type為KT-1000FA，其系統
圖與P&ID圖如 圖1、圖2所示，因為溫度限制(~800°C)對有機
氣體處理效率不佳，利用高溫式Heater(~1070°C)及螺旋刮刀
技術，其差異如 圖3、圖4所示，能提升有機物裂解效率，提
升有機物裂解效率，使處理效率>90%。
圖4、FA與FA(HC37A)之刮刀型式差異
圖1、KT-1000FA之系統圖
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