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TSMC / FACILITY PUBLISHED
                VOL.45
                                                         廠務季刊


                                                          URL.http://nfjournal/



                空污減量-現址式尾氣處理設備針對有機污染物去除效率探討

                Air pollution reduction-Discussion on the removal efficiency of organic pollutants
                by Local Scrubber


                                                                                            文│楊竣凱 蔡景安│台中廠務一部│


                摘要 / Abstract

                    空氣污染議題是近年來工廠運轉日益重視議題，而煙囪排放有機污染物已成為顯學，本研究透過污染物源頭分析，利用現
                址式尾氣處理設備(Local scrubber)改造，進行源頭污染物減量改善，提升有機物去除效率，並利用模擬技術驗證出最佳運轉參
                數，可以同時達到能源妥善利用及空污減量效果，實驗結果發現，在電熱式現址式尾氣處理設備加熱器溫度設定在850度，CDA
                調整在80LPM且螺旋刮刀轉速設定在17RPM，可以達到空污減量及節能運轉最佳設定。

                關鍵詞 / 現址式尾氣處理設備、有機污染物、非甲烷碳氫化合物、電熱式、螺旋刮刀

                    The issue of air pollution is the issue of increasing attention to the operation of factories in recent years, and the emission
                of organic pollutants from chimneys has become a significant science. This study uses source analysis of pollutants and uses
                local scrubbers to retrofit to reduce and improve source pollutants. Improve the efficiency of organic matter removal, and use
                simulation technology to verify the best operating parameters, which can simultaneously achieve the proper use of energy
                and air pollution reduction. Adjusted at 80LPM and the spiral scraper speed is set at 17 RPM, the best setting for air pollution
                reduction and energy-saving operation can be achieved.

                Keywords / Local Scrubber, Organic Pollutant, NMHC, Electrothermic Type, Twisted Tape



                1.  前言

                    近年來環境議題備受重視，其中半導體製造業之空氣污                       Hydrocarbon, NMHC)讀值偏高，主要原因為部分化學氣相沉
                染管制及排放標準法規亦日益嚴格，但因疫情影響晶圓製造需                        積製程(Chemical Vapor Deposition, CVD)有使用有機物特氣，
                求大幅提升，因此要在產能滿載且擴充頻繁情況同時持續進行                        而其配置的電熱式現址式尾氣處理設備對於有機物去除效率不
                空污改善是台積公司的一大挑戰。                                    佳，導致酸性排氣中NMHC偏高。
                    污染物源頭改善是近來運轉廠區較主流且效果顯著的方                           由於現址式尾氣處理設備出口濃度對有機物僅規範在小
                式，利用現址式尾氣處理設備(Local scrubber)，裝設在不同                於十分之一爆炸下限(LOWER EXPLOSIVE LIMIT, L.E.L)即可，但
                製程區域，針對其使用特氣選用相對應類型Local scrubber來                 整體而言對於酸性排氣中之有機物NMHC為主要貢獻來源，
                處理機台所產生之較高濃度含毒性或爆炸性氣體，再利用酸                         因此本研究動機為改善現址式尾氣處理設備對於有機污染物去
                性排氣管道(SEX Exhaust)將較低濃度尾氣排至中央式處理設備                 除效率，希望從源頭減量達到空污改善目的。
                (Central Scrubber)進行第二階段的終端處理，經由二階段串聯                  本研究盤點CVD製程使用有機氣體進行調查，希望利用
                設備後全面提升空氣排放處理效率。                                   化學熱裂解反應及物理流體力學學理，藉由提升加熱器溫度及
                    因此提升現址式尾氣處理設備對於污染物的去除效率為                       增加氣體滯留時間等方法來改善電熱式現址式尾氣處理設備
                現今重要的空污減量課題，而以某中科A廠自檢發現酸性排                         對於NMHC的去除效率，並以模擬數據探討其參數設定最佳
                氣系統中含有的有機污物，非甲烷碳氫化合物(Non-Methane                   化，以達到酸性排氣中有機物的減量排放之目的。


                                                                                             FACILITY JOURNAL        03  2022  41
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