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Tech
Notes
技術專文
果可同時傳達給廠務及ISEP部門(one ISEP)，並確保系統異常 VOC有3套，現址式空氣處理設備約莫200多台，其中可參考
時空氣污染物仍可獲得完善處理。 (圖2)風車和管路配置圖。其中值得一提的是雖然F2在廢氣分
目前F2的廢氣處理設備中央洗滌塔的部分有11套(其中包 流的方式day-one皆會參考原物料使用的情況做適當的分流，
含8套酸性排氣SEX和3套鹼性排氣AEX)，揮發性有機處理設備 但隨著製程在更改recipe和chemical成份的修正可能會不符合
圖1、TSMC FAB2 Exhaust廢氣處理流程圖
圖2、F2 Exhaust風車配置及管路示意圖
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