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2. 文獻探討 運作，其嚴重狀況將讓晶元產品產生報廢。為了避免再次發生
影響生產機台的問題，將透過以下系統整合方式開發整合性平
2.1 LSC(Local Scrubber)
台讓爐管製程完全解析及呈現機台運作資訊 :
達到空氣污染零檢出這個願景前，必須先了解污染來源
① Si-view系統
是什麼?如何定義?空氣污染源意指工廠內生產機台排放製程
• Tool Status : 機台執行製程動作前，須於系統上掛所需狀態
氣體之污染物並透過空污處理設備及煙囪排放至廠外。根據
後才可執行。
SEMI S2設備安全衛生環保基準審核認證(圖2)將其選定標準
• Color : 依據顏色區分機台每道程序動作所執行狀態名稱，
LSC廢氣處理設備去專屬處理生產機台排放氣體，其製程氣體
如 圖3所示。
主要分成兩大類氣體 :
① 有害氣體(Hazardous Gas)

• 毒性(Toxic Gas) : NF 3 , all of above gas w/o H 2
• 可燃性/自燃性(Flammable/Pyrophoric Gas) : H 2 , SiH 4 ,
NH 3 , CO, TEOS, 3MS, 4MS, etc.
• 腐蝕性(Corrosive Gas) : NH 3 , HF, F 2 , SiF 4 , Cl 2 , BCl 3 , HCl,
HBr, etc.
② 溫室氣體(Greenhouse Gas, GHG)

• GHG : CO 2 , O 3 , CH 4 , N 2 O, CFCs, HFCs
• 全氟化物(Perfluorinated compounds, PFCs)氣體 : C 3 F 8 ,
C 4 F 6 , C 4 F 8 , C 5 F 8 , CHF 3 , CH 2 F 2 , NF 3 , SF 6 , etc.

圖3、機台每道製程動作顏色狀態說明

② EPT系統(Equipment Performance Tracing, EPT) [01]

• Event State : 機台執行製程動作之程序狀態，如 圖4所示。
• Duration time : 顯示機台每道製程動作持續時間。
• Event Name : IT定義每道製程程序名稱Group Table Name。

圖2、SEMI S2-LSC DRE(削減率)標準規格

而這些機台排放製程廢氣均會藉由工廠內的前段廢氣處
理設備(LSC)，以水洗或燃燒的方式做第一道處理再由中央廢
氣處理系統以水洗的方式做第二道處理後，再透過煙囪排放至
圖4、機台製程運作流程圖
廠外。為此達到空汙零檢出的願景，其廠務管理方式、LSC廢
氣處理設備的穩定性及處理效率將成為最重要的一環。本文將
而這些機台開始生產晶片階段，其需經過多道製程程序
針對LSC廢氣處理設備的切換動作與生產機台之間的配合度做
轉換及多次Purge方式才可完成每一片生產晶片，所以生產機
進一步的探討。
台穩定運轉及安全性將列為最重要課題。為此達到生產機台零
2.2 系統整合 報廢的願景，其生產機台每道製程運作模式及平台智能化應用
的問題，將成為本文最重要的一環
由於公司內為了製程機台生產順利、原物料供給穩定性
及其他附屬設備運作健康性及安全性等，進而開發多元化系統
做為管理方式。但需進入眾多系統平台逐一確認機台狀況，常
因人員溝通疏忽或個人思維誤判問題，進而影響生產機台正常

FACILITY JOURNAL 03 2022 47