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Tech
Notes
技術專文
圖13、IPI二流體改造的增加項目圖示
圖14、IPI二流體改造去除效率
圖12、前段風管分流灑水安裝方式
4.2 鹽酸含量源頭削減
Dif製程機台使用到的含氯化學氣體(DCS/HCD)，其副生
成物HCl無法被原有空污處理設備所攔阻，導致酸排風管堆積 圖15、IPI二流體改造後內部狀況
powder，且HCl無法符合環評要求，IPI Local Scrubber雖能將
製程廢氣裂解處理，但其產生的powder粒徑細小，易穿越拉 4.3 氫氟酸含量源頭削減
西環間隙抽至風管，造成後端排氣系統阻塞，影響運轉。
CVD製程除了原有的化學氣體沉積會產生SiO 2 白色粉末之
IPI Local Scrubber的改造是利用氣體高壓噴射將水打散成
外，NF 3 /CF 4 等含氟的氣體化合物在CVD應用中經由處理設備
微米等級的水霧，再利用二流體高比表面積的特性將污染物抓
的電漿反應後會產生F 2 氣體，再透過尾氣處理裝置的水洗段後
下；出口段則是加大灑水量，藉由重力與離心力來攔截污染
會產生大量的氫氟酸液滴，在此之前這種微小的氣懸浮微粒由
物與粉塵。針對爐管製程中DCS大宗使用群(ANT/LNK/SRK)安
於體積重量都過小過輕，並不容易被拉西環的水膜所攔阻，造
裝，目的用以去除製程中的副產物SiO 2 與HCl：結果採樣分析
成後段空污中央處理設備無法有效的去除；於是在KT機台的
在LSC與風管立管段皆有86%以上的HCl去除效率。
水洗段先增設細水霧噴頭，另外在靠近出口處增加一個離心旋
轉床，藉由超重力的高速旋轉可匯集並增大污染液滴，待其撞
擊至出口管道金屬表面後，過多的液體便可順流而下蒐集，如
此一來可有效攔截過小的氣懸浮粒子，提升粒狀物的去除效
果。F15B測試的結果去除效率可達90%以上，KT完成改造共計
81台後P5的總排放量也從0.883頓下降至0.658頓，減少排放量
25%以上。
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