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技術專文

調查使用到NF 3 氣體的製程主機台並將其NF 3 MFC流量計訊號
設定於主機台的FDC系統。

3.1 F 2 尾氣濃度連續監測系統

在F 2 氣體偵測感測器建置上我們選用具有低功耗、交叉靈
敏度低、長期穩定性出色的電化學感測器，其原理為是將用幫
浦收集到的尾氣氣體溶解於充滿電解液的兩個電極間使其產生
氧化還原效應進而轉化成電壓或電流，再將這些微小數值轉換
成濃度而達到偵測的作用(圖7)。
圖5、Thermal Decomposition : NF 3

圖7、F 2 電化學感測器原理 [08]
圖6、Oxidation Decomposition : SiH 4
在Exhaust submain尾氣取樣管路佈置方面，以P2為例經
2.2 AI診斷系統 過Bluebook系統盤查使用NF 3 氣體的CVD製程共有137台分佈
於6隻Exhaust submain，因此在這六隻Exhaust管路前端進行
近年來因為工業4.0蓬勃的發展進而衍生物聯網系統的建
安裝採樣port與管路架設(圖8)。
立，這套系統把過去無交集的設備控制與IT領域連結了起來，
透過各式各樣的感測器收集大量數據後，利用人工智慧進行有
[04]
效率的分析後找到各種關聯應用。王翔正(2007) 利用RFID無
線射頻感測器進行純水系統的出水量與電阻值連續性監測，並
透過數據分析建置診斷系統預測設備失效時機。李育哲(2013)
[06] 於雞舍內建置溫溼度/照度/氨氣無線感測器將數值回傳雲端
平台監控，透過AI數據比對後傳送控制訊號到農場的設備做出
適當的回應，使環境能精準控制到適合農作物生長並提升品質
[07]
減少人力需求。孫偉碩(2015) 整合手機拍攝的照片與環保署
提供的環境能見度&PM2.5數據資料來開發出空汙APP，未來
使用者可隨時隨地將拍攝照片上傳至APP雲端平台，透過AI影
像比對即時判斷該區域的PM2.5濃度應用做為空氣品質監測系 圖8、F 2 Exhaut採樣管配置
[05]
統。賴建雄(2016) 透過Internet遠端監測冰水機系統的各項參
數並結合故障樹分析開發出冰水機遠端監測與故障診斷的架 在量測系統方面因預算考量下並無法每隻Exhaust submain
構，可提供值班人員第一時間判定冰機異常原因並做出相對應 皆安裝F 2 氣體偵測感測器，因此我們採取與無塵室AMC分析系
的應變。以上文獻顯示AI比對診斷技術在各行各業應用非常多 統一樣的設計，利用切點模式來進行切換量測尾氣分析，週期
元化，包含現場數值回傳預測設備失效時機又或者進行多方資 方面因每次主機台約莫30分鐘後會用NF 3 清理Chamber一次時
料交叉比對歸納出有用的資訊給使用者，也可以影像比對自動 間上約5~10分鐘，因此在切點系統設計上我們採1個氣體偵測器
判別等等。 最多可接12隻風管採樣點，利用閥件切換來進行採樣分析再將
數值透過光纖通訊回傳至SCDA監測電腦監控(圖9)，而這套系統

3. 研究方法 每筆資料一天至少可進行2HR的長時間連續監測，這樣不僅可
以完全覆蓋機台使用NF 3 時間，也可利用數據偏移分析手法來進
此診斷系統需先於風管建置F 2 尾氣濃度連續監測系統，並
行管控，在有問題時將量測點進行長時間鎖點監測查案。
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