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Tech
Notes
技術專文

內設置溫濕度計，經由實體線訊號傳輸至中控系統，再由乾冷
盤管Dry cooling coil(以下簡稱DCC)的控制閥件將對CR內回授的
溫溼度進行調節控制，最後再經由風扇過濾組(Fan Filter Unit，以
下簡稱FFU)，將DCC調整後的混和空氣抽送至製程區內，因此
各製程區設置的溫溼度計能精準控制在22℃，由濃度分布圖上
顯示結果皆為均溫，如 圖2所示，但實際上若各別小區域進行
溫濕度計測量，除了既有溫濕度計附近區域以DCC控溫較能穩
定在22℃以外，其他地方因為機台維修保養或者是人員聚集等
因素，溫度測量結果較為不平均，與22℃的目標值最大偏差達
4.5%，約21℃~23℃之間，顯示的濃度分布圖如 圖3所示。
圖2、定點式溫度計以DCC盤管進行穩定控溫，黑點代表溫度探頭
位置，濃度分布依此顯示為均溫，較不符實際上溫度顯示情況
2. 文獻探討
物聯網(以下簡稱IOT)是一種計算裝置、機械、數位機器
[01]
相互關聯的系統，具有通過網路傳輸數據的能力 。回溯過
去，IOT已應用在廠務端眾多領域並且行之有年，包含搭配巡
[02]
檢機器人 ，(Automated Guided Vehicle，以下簡稱AGV)，
[03]
利用搭載的儀器，將巡檢過程中的溫溼度及空氣微汙染物 ，
(以下簡稱AMC)數值的變化透過IOT回傳，架構如 圖4所示，
有助於我們掌握工廠內生產區環境任何微小條件的變化，值班
人員可做出相對即時反應，避免影響產品量率。
另外也應用在節能管理方面，利用數位化電錶搭配IOT傳 圖3、各製程區內實際上因機台保養維修或者是人員聚集等因素，
輸進行大數據分析，可針對個別機台不同時間點的能耗變化進 溫度分布較不均勻
[04]
行有效性分析與校正 。又再者，可使用傳輸數值進行分析預
[05]
測，來強化廠務設備之故障預知能力 。以上總總皆顯示IOT
技術的應用性非常多元化，包含數值回傳，能源管理以及故障
分析等等。
本文探討以IOT技術為基礎，擴大實際應用層面在CR內環
境溫度回授與控制，並延續廠務AGV巡檢機器人應用，透過
IOT技術不僅回傳工廠CR內環境各項數值，更進一步將數值做
為控制基準，可與廠務端其他設備進行聯動，達成機械與機械
之間的互動，往工業4.0的發展更進一步。

圖4、廠務AGV與IOT架構圖

3. 研究方法

在風扇過濾組(Fan Filter Unit，以下簡稱FFU)轉速調整
部分，早期藉由巡檢人員手持儀器到現場全區巡檢測量溫度
後，再整理成報表，最後交由工程師根據報表進行各區域FFU
調整。目前由於IOT及AGV專案陸續開發及應用，已可大量改
善現場人力的負擔，如 圖5所示。
本文延續AGV巡檢機器人及IOT數值回傳的功能，將
蒐集到的溫度進行應用，與FFU進行連動控制，原本由工
圖1、外氣供應至無塵室內之流場及溫濕度控制示意圖 程師判斷是否調整FFU轉速部分，改成自動判斷並加以控

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