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② 儀器精密度與日常維護
實驗設備的靈敏度、精度對於實驗的影響同樣重要,做
好儀器的維護保養以及升級換代同樣是保證監測質量的重要
環節。
③ 采樣分析方法與標準的建立
采樣分析方法是執行環境監測的依據,雖然國標中有規
範要求,但檢測標準中幹擾因數的影響是必須考慮的因素之
一,而此部分在實際操作時常常會疏忽一些細節。
④ 監測人員技能水準
監測人員的專業水準也會影響實驗結果,監測人員對於
實驗設備的掌握程度,正確的操作儀器能極大地避免實驗數
據誤差。
⑤ 監測現場
采樣過程對於采樣數據的佈點分佈同樣有著要求,一般
采樣需根據煙囪直徑設置取樣點位及數量,這樣才能做到均
勻采樣,避免數據單一不具代表性。
通過上述經驗總結,南京厰已于廠內建立起標準檢測能
量,未來將繼續深入研究,提高檢測能力,目標是取得CNAS
認證資質,成爲國標水準實驗室。
參考文獻
[01] 關於發佈《半導體行業污染物排放標準》(DB32-3747-2020)的公告,江
蘇省市場監督管理局,2020。
[02] Atkinson, Roger. Atmospheric chemistry of VOCs and NOx,
Atmospheric Environment. 2000,34:2063-2101.
[03] 關於發佈《揮發性有機物治理攻堅方案》的公告,中華人民共和國生態
環境部,2020。
[04] ISO-14644.8:2006(E),空氣分子污染物分類[S] ,瑞士:國際標準組
織,2006。
[05] 劉軍,半導體製造業工藝廢氣污染及治理對策研究,積體電路應用,第
四期,頁25-28,2003。
[06] 黃友元、盧銘駿,研發厰空氣污染物排放減量之挑戰與策略,空污季
刊,Vol.35,頁14-23,2019。
[07] 環境監測實驗室品質控制措施[J].智能城市,徐海芳,2019,5(17),
150-151。
[08] 關於發佈《環境監測 分析方法標準制修訂技術導則》(HJ 168—2010)的
公告,生態環境部,2020。
作者介紹
張波 B. Zhang
2018年華北電力大學畢業,畢業後加入臺積電(南京)廠務大家
庭,投身於AAS系統的學習和研究,感謝這三年來主管和同事
們的幫助,讓我成長了很多,期待未來能為團隊貢獻更多的
能量。
FACILITY JOURNAL 03 2022 95