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性的解決措施，及時予以糾正，提高實驗檢測水準。 排放煙囪監測數據聯網浦口區監控平臺/南京市污染源自動監
控系統/江蘇省排污單位自行監測資訊發佈平臺，同時對企業
2. 文獻探討 生產設備及空污處理設備進行電力聯網監控，當企業空污排
放異常時會被環保局第一時間掌握到，嚴重時面臨立即停產
2.1 半導體行業污染物排放狀況
整頓風險，如 圖2及 圖3。2021年3月1日又頒佈了《排污許可
隨著半導體行業突飛猛進的發展，國家法規對於半導體 管理條例》，明確排污單位的主體責任。
製造業中產生的大量有腐蝕性有毒易燃等危害環境的氣體處
理提出了更高的要求。
晶片生產過程中使用的原輔材料種類較多，而其中最多
的為各種化學品，包括酸(氫氟酸、硫酸、硝酸、鹽酸等)、堿
(氨水等)、有機溶劑(異丙醇、光刻膠、顯影劑等)；特殊氣體
(硅烷、磷烷、砷烷、含氯、含氮、含氟氣體等)。其主要作用
在晶圓片的清洗、蝕刻、研磨等工序，除少量隨工藝附著在
晶圓片上，其他多數變為廢棄物排放，而以廢氣的形式存在
圖2、環保法規現值及排污管制措施
的污染物也是主要研究對象之一 [04][05] 。
目前廠內主要廢氣處理工藝是延續台灣既有的廢氣處理
體系，對廢氣進行分類處理，基本框架如 圖1所示。雖然廠區
已針對污染物建置防制設備進行處理，但半導體行業煙道排
放的特性是低濃度高風量，使得工廠累計排放縂量依然可觀
[06]
。隨著法規管制的日趨嚴格，需建立好廠內排放狀況基本
資料，以作爲實施空氣污染物減量措施的主要依據。

圖3、市環評自動監測平臺系統介面

類比台灣可以發現大陸的環保法規更加嚴格，要求檢測
的因子數量更多，南京檢測頻率為台灣6倍(季檢、半年檢、
年檢)，檢測因數多達15種，因此廠內亟需建立相關之監控技
術及機製作為持續改善之依據，以除能符合法規外，更能由
於優於法規成為企業之標竿。
南京廠面臨的第二個挑戰是協力廠商檢測水準參差不
齊，檢測不規範現象造成的空污檢測虛驚時有發生。通過第
三方實驗室的監測資料，能夠監測到環境品質問題，但由於
檢測過程中也存在一些問題，導致監測的精準度並不高，難
以及時給空污減量提供準確的指導方向 。以2019~2020年
[07]
圖1、南京厰廢氣處理流程 檢測狀況統計，檢測12次，異常3次(違法虛驚1次，資料異常2
次)，複測均正常，準確度僅75%。檢測不規範的問題成爲檢
2.2 南京廠面臨的環保挑戰 測異常的最大隱患。常見手法問題如 圖4。
南京廠面臨的第一個挑戰是日趨嚴格的環保管制要求。
隨著地方法規的不斷細化，無論是監管指標還是排污管制手
段都在不斷限縮和加強。其中監管指標方面，以非甲烷總烴
爲例，2020年頒佈了新法規《江蘇半導體行業標准》將排放
濃度從120mg/m³降至50mg/m³，下修幅度達58.3%，且濃度
限值仍有不斷下修趨勢；另外管制手段方面，除了要求有機 圖4、協力廠商檢測手法問題

FACILITY JOURNAL 03 2022 91