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技術專文

4. 結果探討 此每年最終可節省0.9M NTD(圖16)。

4.1 不同製程排氣管路沉積物去除效果

南京廠N1X制程排氣管路沉積Powder依據現行人力拆管
清潔時間區分為五類清潔難度，Pumping-line全自動清管器從
易到難測試清刷效果(圖15)，最終成績為3顆星及以下難度可
有效清潔(表5)，Furnace和EPI制程Powder不適用清潔，在於
Furnace Powder堵塞嚴重，且質地堅硬，刷頭無法有效清刷。
EPI制程Powder組分包括GEH 4 和PH 3 屬易燃發火特性，現行保
養需採取漸氧工法，清管器無法適配。

圖16、全自動清管器使用模式與現行保養模式花費比對

4.4 全自動清管器配置模式及保養內容

4.4.1 配置模式

以南京廠為例，P1A Pumping line易塞管LSC類型包括
圖15、全自動清管器適用製程
電熱水洗式和燃燒水洗式，共計377台。年清管次數約為500
次，平均1天2支。此清管頻次下南京廠日常配置2台(一用一
表5、清管器使用效果圖示
備)即可滿足清管需求。後續廠區如配置清管器，可參照此標
項次 制程 清管前 清管後 準進行計算。
1 ETC
4.4.2 保養內容

清管器日常使用需對直接接觸Powder的元件進行定期清

2 CVD 潔，包括導頭、刷頭和導杆，以及導杆收納管前濾網、集塵
盒。此外也需對動力單元和安全裝置進行定期檢查(表6)。

表6、清管器主要組成單元保養與檢查頻次
3 PVD
項次 檢視或保養項目 1/2M 1M 3M REMARK
1-1 刷頭清潔 V 建議2M更換刷頭
1-2 導頭清潔 V
1-3 刷杆及收納管濾網清潔 V
1-4 集塵盒清潔 V
2-1 限位器檢查 V
4.2 製程排氣管路保養時間減少對生產效率提升的幫助 2-2 皮帶輪檢查 V
2-3 軸承對心檢查 V
Pumping line保養須在dry pump停機工況下完成，減少
的保養時間可以轉化為生產時間。同時，dry pump停機時間
5. 結論與建議
過久內部轉子容易被冷凝形成的沉積物卡住，無法啟動，這就
會增加額外的維修成本和時間。據統計，每年度ETC制程每年 較傳統清管模式，配置全自動清管器效率可提高至4.5
可減少因清管造成DRY PUMP維修15次。 倍，NJ 20K產能下，全年可節省新臺幣0.97M，ROI值為
0.82。推廣至300mm，估算全年可節省新臺幣38.1M。
4.3 全自動清管器應用模式下保養費用節省分析 全自動清管器目前無法于Furnace制程使用，究其原因在

相較現行保養模式，應用全自動清管器可提升效率4.5 於Powder組分多為NH 3 結晶，且累積速度較快。可以嘗試的
倍，單支管路清潔可節省人力1名，工時減少2hr，按照全年 方式為增加保養頻次，於Powder初期累積的羸弱時期將其清
清管500支管路計算，南京廠全年可節省工時3000hr，可節省 除，同時考慮DRY PUMP停機卡死的影響，每次保養時間控制
1.36M NTD。實際使用過程中，Furnace和EPI制程不適用，因 於1hr以內。其二是加裝水噴淋和烘乾系統，NH 3 可以溶解于

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