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水中，加水配合清刷則可清除Powder，清刷完再配合熱空氣
烘乾，可保證管路正常運轉工況。

參考文獻
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Films》1990.
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[07] 陳威儒。區域洗滌設備異常事件失誤模式探討-以某半導體廠爲例《國立
交通大學碩士論文》2012.March。

作者介紹

植軍章 Fred Zhi
畢業于南京農業大學環境工程專業，2018年3月加入南京廠務
部機械課。工作四年有餘，感謝各位台積前輩對本人的指導。
我最大的感受就是台積鼓勵創新的文化影響著每一個人。
謝儀明 Y.M. Xie
畢業于南京農業大學電氣自動化專業，2017年5月加入南京廠
務部。從機械系統到Hookup裝機，感謝這一路各位前輩的照
顧與指導，讓我不斷成長。價值在於積累，目標在於超越，
一切都值得期待。

FACILITY JOURNAL 09 2022 13