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技術專文

如 圖15為改造後實地風向及溫濕度測量資料對比圖。從 風向角度前後對比圖的資料類可見，相對濕度整體愈加聚焦於
圖中風向角度前後對比圖的資料類可見，氣流平行度小於14° 45%控制線變成45.4%，且濕度整體均衡性提升21%。因此，
的區域較改造前提升127%，氣流平行度提升明顯，另現場實 從現場實測資料的角度來看，使用回風豎井解決橫向風問題的
測1.2m處顆粒數均小於25ea@ft3並大部分測值為零。從圖中 改造方案很成功。

圖15、CMP區域改造前後環境測量對比圖

3.3.2 「三板斧」之FFU&高架地板-減法篇 平均開孔率，有如下結果：P1 DIF維修區換氣次數(124.6次/h)
遠大於P2 DIF維修區換氣次數(85.8次/h)；在高架地板平均開
通過對氣流組織不合理處(如近牆壁側，設備間空隙處)對
孔率上，P1 DIF維修區(8.5%)大於P2 DIF維修區(6.5%)。因此，
應高架地板進行開孔率的針對性調整，可有效調整局部氣流組
我們考慮通過增加FFU台數來增加整體送風量進而達到增加換
織使其更加合理，氣流流動更貼近設求。通過增加近壁面側高
氣次數的目的。利用格柵地板代替盲板及蜂板來增加地板平均
架地板的開孔率，近壁面側的氣流不在擾動，通過減小沿程阻
開孔率，進而減小局部風阻以平衡不同路徑下回風阻力，減緩
力不平衡路徑上的高架地板開孔率，可使在氣流分配更加均
橫向風生成，抑制Particle擴散。
勻，降低橫向風的形成。此外，通過調整FFU的數量來提升氣
流動力及增大換氣次數，加速氣流的置換速度，迅速的將熱濕
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負荷及可能產生的Particle迅速透過高架地板帶離操作區 。
對通過優化高架地板種類(孔隙率不同)及FFU數量來提
升氣流組織，我們在這裡通過一個案例來說明。如 圖16，
DIF制程highlight F-Poly機台出現Particle NG，經過現場PD
counter量測對比發現：在環境潔淨度上 ，P2 DIF維修區要
略差於P1相應區域(兩區域仍均滿足Class100：顆粒物<75ea/
圖16、Poly Serious Offline PD High Trend Chart
ft3@0.3um)。通過 表3分析P1 & P2 DIF維修區換氣次數與地板

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