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圖12、潔淨室不同流態下氣流路徑示意圖
圖13、CMP新增回風豎井前後layout對比
根據EAOC評估流程，我們對計畫變更前後氣流流場進行 次對於改造前潔淨室中部的流場情況上來分析，由於自南向北
模擬，最終採用新增回風道的方案來解決該問題，結果如圖14 的路徑上氣流增大，流速不斷提高。氣流的流向會逐漸向北側
所示。通過對改造前後的氣流組織進行對比，有以下幾點發 回風夾道位置偏轉，越靠近回風夾道的位置水準偏轉角度越
現：由於改造前回風夾道的佈置均集中在邊側，氣流需要流經 大。而改造後中部區域增加了三個回風夾道，氣流的可以在此
潔淨室進入側邊的回風夾道，這樣會造成回風夾道周邊的氣流 處進入吊頂上夾層，氣流的行程減短，周邊氣流的垂直單向性
速度偏高。而改造後因為在潔淨室的中部及南側增加了回風夾 得到明顯的改善，大部分區域亂流度β n <0.35，且操作區內無
道，總的回風夾道可用面積增加，回風的行程相對減小。流經 明顯渦流現象。
元回風夾道側的氣流減少，氣流的平行度也會有極大提高。其
圖14、新增回風豎井
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