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經濟部工業局自2005年起即推動工業區生態化轉型，迄 3. 研究現況分析
今執行23座工業區能資源整合推動工作，著名案例為「高雄
3.1 台積電的製程與廢棄物發展趨勢
臨海工業區」，以中鋼、中油集團為主軸，與區內20餘家產
業互通蒸汽、燃料及各項工業氣體，形成鋼鐵及石化產業群 由於先進製程生產的工序越發複雜，導致每片晶圓生產
聚的EIP，相互依存創造雙贏，如 圖4示意。針對EIP發展，經 所需使用的水、電、化學品持續增加，相對的廢棄物產生量
濟部亦提出未來精進方向 [02][03] ： 也隨之大幅增加。依先前調查 [08] ，如同 圖5所示，每跨一個
製程世代廢棄物增量至少40%。
① 電力、蒸汽、純水採區域性供應規劃。
② 園區內產生量大且亟待處理的副產品或廢棄物類型，採
減量及資源循環方式。
③ 引進具生態鏈結效益的產業進駐工業區。
④ 原本需送至較遠地方進行處理及資源化者，優先改為送
至鄰近機構處理。
⑤ 原本需採用掩埋或焚化處理方式者，改為使用資源化方
式處理。
⑥ 原本需採用資源化方式處理者，尋求邁向減量、再使用
及高附加價值資源化技術處理。
註：成長趨勢以目前的運轉狀況預估N5滿載後情形，尚
未包含再生能源、再生水、零廢中心等先進專案之貢獻。

圖5、不同製程世代廢棄物成長趨勢

除了上述製程演進帶來的影響，產能擴充也為台積公司
帶來廢棄物量的大幅成長廠務團隊自2015年起致力發展「廠
內回收」，推動多項專案，包含：廢硫酸回收、電鍍銅鈷、
硫酸銨結晶、冰晶石等多項技術，至2020年廠內回收技術每
年為公司減少約15萬噸的廢棄物委外處理量，等同公司廢棄
物委外減量22%，，雖已大幅減少廢棄物產出，但每年需委
外處理的廢棄物仍持續上升，依公司產能規劃預測廢棄物產
出情形，若未有更積極的作為，至2025年廢棄物委外將達100
萬噸/年以上，如 圖6。
圖4、高雄臨海工業區能資源交換示意圖 [07]

註：廢棄物增長趨勢為2020年11月廠務向董事會提案零廢中心之簡報內容，後續依公司營運狀況滾動檢討。

圖6、TSMC廢棄物委外處理實際量與長期趨勢預估

FACILITY JOURNAL 12 2022 119