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TSMC/ Facility Published

前言 文獻探討

隨著環保意識抬頭及空污法規的演進，台積電呼應前 根據台積公司的空氣污染防治策略，首先是藉由製程
述，提出 ESG 2050 年淨零排放目標，不僅新建廠區 合理化減少廢氣裡的污染物含量，其次是使用高效
環評嚴格要求，先進廠區致力於污染物減量技術提 能設備處理廢氣，使排入大氣的污染物量少於 ( 或符
升，對於早期空污相關技術及觀念尚未完善而建造的 合 ) 政府規定。歷年實際檢測結果顯示，空氣污染物
老舊成廠區更是一大挑戰。 排放濃度均遠低於環保署的排放標準。晶圓廠廢氣依
據其特性，大致分為酸性排氣、鹼性排氣、酸鹼混和
老舊成廠區在空污排放系統架構上有著難以改善的硬 排氣、揮發性有機物排氣等，至於一般機台散熱排
傷，除了防治設備老舊及備源機制不完全造成停機保 氣並不會造成空氣污染。空氣污染防治設備依據污染
養困難，更是有不同種類排氣風管串接混排的設計。 物的種類特性而有所不同，台積公司針對特定毒性、
雖然空污排放仍符合現行法規規範，但台積電身為業 易燃性及全氟化物 (Perfluorinated compounds) 等
界龍頭典範，提高自我要求與社會責任的使命感更是 不同製程廢氣，在製程設備端設置現場尾氣處理設
責無旁貸。 備 (Local Scrubber)，進行吸附、觸媒轉化、氧化、
燃燒或電漿等特殊處理。之後，廢氣仍含微量有無機
以 F3 做為老舊成廠區代表來進行探討，依照煙道排
酸鹼成分者，送至中央廢氣洗滌塔再進行水洗中和；
放狀況進行下游機台排放普查，釐清混錯排及風管運
仍具有少量有機成分者，則送至揮發性有機廢氣沸
轉量現況，同步驗證空污防治設備去除校率及運轉參
石轉輪設備，進行吸附燃燒後，再排入大氣。 [01] 由
數設定。歸納出五點主軸，機台內部混氣、風管錯接、
公司策略其實不難看出針對空污改善，其實有一套嚴
源頭高濃度排放、處理系統 Capacity 不足、處理設
謹的改善順序及方法，惟老舊廠區確實有相對窒礙難
備設計老舊校率不佳。特別是處理系統 Capacity 不
行之處須克服。以本次老舊廠區改善為例，管路混排
足一項，為同時維持工廠運作前提下進行空污改善帶
的 VOCs 便需要進行改管，而改管之後的 VOCs 亦需
來極大瓶頸。
要相對應的處理設備。一般而言，VOCs 主要用於有
機溶劑之塗裝或清洗用途，廣泛使用於半導體業、光
本文重點將以擬訂 Capacity 不足且需同時維持工廠
電業、汽車業、PU 合成皮業、石化業與乾洗業等行
運作前提下提出改善對策。
業。根據排放管道所排放之主要污染物調查，以異丙
醇 (IPA) 及丙酮 (Acetone) 為主，其次為乙酸甲氧基
異丙酯 (PGMEA)，其中異丙醇及丙酮排放量約佔總排
[02]
放量 50-80% 而沸石濃縮焚化系統處理之設計處
理量以及處理濃度，是現行 VOCs 污染防制設備中最
能符合國內「半導體製造業空氣污染管制標準及排放
標準者」，同時亦是台積廠區以及新竹科學園區內半
[03]
導體產業最廣為使用之 VOCs 污染防制設備 。而沸
石轉輪濃縮系統搭配高溫焚化系統，可將高流量、低
濃度之製程廢氣經由疏水性沸石轉輪進行吸附，對於
[04]
VOCs 去除效率可達 90% 。沸石轉輪處理系統內部
可分為吸附區、再生脫附區以及冷卻區，吸附區一般
而言較大，脫附區及冷卻區為兩個較小且面積相等之
處理側，面積比例為 10:1:1，大部份製程廢氣於轉輪
上進行吸附後排出至大氣，少部分製程廢氣經過冷卻
區後，與焚化系統進行預熱交換升溫至 200℃並回流
到沸石轉輪脫附區。而此吸附、脫附交互循環之流程
便是沸石轉輪濃縮系統之基本處理架構，沸石轉輪經
[05]
由此再生程序後可反覆使用。

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