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TSMC/ Facility Published

圖 2：傅立業變換紅外光分析原理

2.5 FTIR 污染檢測應用實例

具備及時性、準確性的 FTIR 監測分析系統可以同時
進行多種氣體污染物之監測，適用於半導體、光電等
高科技產業特殊化學品量測，廣泛空氣污染物監測及
追蹤。

曲立國 (2021) 開展可攜式 FTIR 光譜儀關鍵技術研究，
應用到機動車尾氣排放監測，建立非甲烷碳氫化合物
的量測模型，以實現便攜性、高解析度和快速性的尾
氣監測要求，為實際道路上的尾氣排放研究提供可靠
資料 [06] 。

陳美霞 (2015) 藉由移動式 FTIR 實測工業園區大氣
VOCs 濃度，並利用誤差模型在考量風速和風量等影
響因數後，建立 VOCs 擴散模型，為推估污染源逸散
[07]
排放量提供參考方法 。
陳新友 (2006) 運用開放式霍氏紅外光遙測儀進行半導
體產業環境異味之調查研究，進行廠與廠之間的周遭
環境的量測工作，用以界定可能造成廠區異味的污染
[08]
來源，提供廠內人員後續異味發生時的追蹤方向 。

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