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VOL.52 廠務季刊 化學研磨液供應系統 H 2 O 2 濃度測量優化

4.2 滴定終點判定方式測試

在 P1 L3 F6A 的 案 例 中，ARTS 的 在 分 析 結 果 不 後續將「algorithm」設定全改為相對較穩定的
時會有不穩定的數據，後續發現原因是因為在 setpoint，因為平均電位 ip_value1 容易受到滴定曲
「algorithm」參數中原本設定為 seek_set，在此設 線的波形影響，如果滴定曲線上下較不對稱則容易出
定下原本都選擇 sp_end 作為計算的依據，但是偶爾 現異常的數據。
又會突然改選 ip_end1 所以造成 ARTS 的分析數據在
現性不佳 ( 圖 25)。在其他套 ATRS 上也發現一樣的
問題，P1 L4 A7100-1 H 2 O 2 wt% 異常偏高過偏低的
數據，在確認 ATRS 的滴定數據後，發現大部分數據
是 sp_end 以計算濃度，只要偶爾判定成 ip_end1 計
算就會造成偏高或偏低的數據 ( 圖 26)。

圖 25：P1 L3 F6A H 2 O 2 wt% 在滴定終點判定參數修正後改善了異常的突波

圖 26：P1 L4 A7100-1 H 2 O 2 wt% 在滴定終點判定參數修正後改善了異常的突波

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