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TSMC/ Facility Published

結果與分析

4.1 取樣路徑增加調壓閥測試

實際在化學研磨液 A7100 供應機台的 ATRS 做取樣 者觀察到實際的分析結果呈現吻合、既有濃度差距已
流量控制達到顯著的效果。於閥件 AV-01 後加裝調壓 消失 ( 圖 23)。原本有調壓閥在化學研磨液樣品中容
閥後，比對混酸側與供應測 ATRS 取樣時取樣管路的 易有結晶產生在閥件內的疑慮，後續觀察 3 個月以上
流量，混酸側流量為 4kg/hour 而供應側則為 6kg/ 在儀器分析結果與流量皆無異常，顯示出無額外保養
hour 兩者的取樣流量已十分接近 ( 圖 22)，也可以兩 的負擔產生 ( 圖 24)。

圖 22：SDU 測量路徑流量曲線 (AV-01 後加裝調壓閥 )

圖 23：F15P2 L2 A7100-1 ATRS 取樣流量調整前後 H 2 O 2 wt% 差異

圖 24：F15P2 L2 A7100-1 ATRS 取樣流量調整後觀察 H 2 O 2 wt% 3 個月無明顯異常

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