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TSMC/ Facility Published
圖 17：SDU 測量路徑流量曲線
3.2 滴定誤差改善
在 ATRS 的滴定終點判定有兩種方式，一種是前面提
到的在滴定曲線繪出後，以設定電位值尋找滴定曲線
對應的體積，而另一種則是由設定電位值的前後幾筆
電位之平均值，以此平均值尋找滴定曲線對應的體積。
在 ATRS 儀器實際的設定中則有此兩種判定方式的
選擇，從參數「TITRATE」裡的「algorithm」選項
中 有 3 個 選 項 : ➀setpoint；➁seeking；➂seek_
set。經測試如果選➀，setpoint 滴定終點會直接判
圖 18：取樣流量控 : AV-01 後調壓閥現場照片
定在由 endpoint 上的設定電位，再由滴定曲線尋找
對應的體積。而選擇➁，seeking 會先計算電位平均
值再由滴定曲線尋找對應的體積 ( 圖 19)。
圖 19：TITRATE 的相關參數中「algorithm」的選項
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