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VOL.52 廠務季刊 化學品供酸系統備援機制管理

若管路中包含突擴、突縮、彎管、等管線組件，則此
表1：PFA、FEP、PTFE與TFM潔淨度比較
部分所造成的壓損為次要損失 (minor losses)。
PFA FEP TFM PTFE
元素 2 2 2 2
(pg/cm ) (pg/cm ) (pg/cm ) (pg/cm )

B 5 1 <20 <20
其 中，h=head lost ; k=loss coefficient ,
Ca 5 8 60 50
V=average speed; g=gravitational acceleration
最終將水頭損失代入能量守恆方程式，可以求得系 Fe 4 9 90 80
統中流速壓力的理論值。 Zn 1 1 8 30

Na 2 2 40 30
Mg 1 1 30 10
Cu <1 1 30 10
由於部分化學品使用是直噴於 Wafer 上的，供應的壓
力也會是機台 monitor 的項目，要是壓力過低可能導 Pb <1 <1 1 <1
致機台 FDC 警報，由於聯通供應，管路的長度變得比
Al 4 2 90 50
之前更長，需額外考量壓損。F14A 曾因機台更換閥
K <1 <1 <30 <30
件欲使用聯通管路開啟供應 CX2%，但因壓力震盪導
致 CMP 機台 FDC 警報觸發影響線上生產。因此理論 Cr 1 3 8 6
值去判斷是否需要在聯通開啟時做源頭調壓，避免機 Ni 4 8 30 20
台因壓力震盪而導致 FDC alarm 進而影響產品生產。

FluoroLine® UAT, Chemours 450 and or XKT,
Daikin AP231SH
2.2 化學品不純物來源

F14A 現行化學品供應系統除 IPA 以金屬管供應外，
其餘皆使用 PFA(Perfluoroalkoxy alkane) 做為供應
管材，PFA 為全氟烷氧基烷烴是含氟聚合物，其具有
極高的抗化能力且具有良好的潔淨度。即便如此 PFA
管材中的 metal 及 particle 仍有可能隨著時間溶出，
Seastar Chemicals 的 Brad McKelvey 曾將各種常見
FluoroLine® U1AT, Chemours 451 and or X1AT,
的含氟聚合物針對潔淨度進行研究，將 PFA、FEP、
Chemours 951
PTFE 與 TFM( 修飾過的 PTFE) 浸置在 50℃下 2% 硝
酸/1% 氫氟酸的混酸溶液中 2 週，再來分析酸液中的
[01][03]
金屬含量，ICP-MS 分析結果如表1 所示。
可以看到 PFA 擁有最佳的潔淨度表現，但是仍有 Metal
不純物的風險，從 Entergris 針對 PFA 不同型號產品進
行表面粗糙度量測(Surface Roughness) 如圖1 可以看出
PFA 管路並非完全光滑，因此管路內不論是製造時附著的
圖 1：PFA451、450 Surface Roughness
Particle 或是後續磨耗腐蝕等，都可能產生 Particle 並造
成品質控制上的風險，隨著製程不斷演進對於化學品的品
質要求只會更加嚴格，因此針對聯通管路中的化學品長時
間靜置，務必進行化學品 Flush 以確認供應品質符合廠區
SPC，避免造成 Quality issue。 [02]

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