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TSMC/ Facility Published

實驗方法

3.1 聯通管路化學品 flush 與週期 3.3 聯通管路化學品中 Particle 分析

藉由文獻回顧得知，化學品呆管可能存在品質 化學品中 Particle 使用 UltraChem® 40 液體粒子計
風 險， 因 此 現 行 F14A 藉 由 FAM(Facility asset 數器 ( 圖2) 進行實驗量測，因不同化學品物料 COA
management) 建立半年保養工單，每當到了半年的 particle count 不同，將無法比較，將採取 inline 量
週期時間一到，即開啟聯通管路進行 flush，flush 測記錄 flush 前後與 PA 量測數據關係。並與 CDU 供
的量則是依化學品聯通管路的長度不同而有所區 應中 Filter 後所測得之 PA data 進行比較，確保聯通
分，目標為將管路內的化學品完全置換，以管長為 管路供應品質與現行相同。
100M，管徑為 1 吋的聯通管路為例，須 flush 大於
11.9L 才能將管路內的化學品置換掉，並針對 Flush
前後進行管內化學品品質的驗證分析比較。

3.2 聯通管路化學品中金屬分析

於上文文獻回顧提及即便是潔淨度最佳並廣泛使用的
PFA 管路，化學品靜置的情況下也存在金屬等不純物
的風險。使用化學品排放洗淨 (Flush) 能有效去除不
純物殘留，因此將藉由化學藥液 Flush 並執行手動
取樣，由台積實驗室 CHAD 以 ICP-MS(Inductively 圖 2：UltraChem® 40 液體粒子計數器
Coupled Plasma Mass Spectrometry) 分 析 藥 液
中 13 種金屬元素殘留量，因不同化學品物料 COA 總
金屬 (Total Metal) 不同，會以現行 CDU bi-weekly
3.4 聯通供應於晶圓測試方法
routine offline 量測 data 為 baseline 並依 Flush 開
始前中後收集數據。
在確認金屬不純物 &Particle 分析皆與過往供應品
質相匹配後，將與線上進行 pi run，以限時上線供
應方式，測試使用於晶圓後透過晶圓 KLA & offline
PA 分別確認供應品質及晶圓是否有缺陷，以此來驗
證聯通管路化學品，在系統異常時可用於線上供應
之依據。

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