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VOL.52 廠務季刊 化學品供酸系統備援機制管理

結果與分析

4.1 聯通化學品金屬量測

F14A P3&P4 H 2 O 2 供應商為關東鑫林，因物料 COA 產批號比對，發現金屬元素鈉、鋁、鈣、鉀較原物料
偵測極限與廠區內實驗室不同。以 F14A 灌前量 COA 高，並在 Flush 後量測 13 種金屬殘留都小於廠
Baseline 約落在 13ppt，總計 13 種金屬。將聯通管 區的偵測極限，顯示在未執行管路 Fulsh 前有殘餘未
路送測檢驗如表2 所示，將管路 Flush 前樣品與生 完全洗淨之金屬殘留。

表 2：H 2 O 2 聯通管路金屬殘留量分析

Samplig
H 2 O 2 31%
_point
Method 直測

分析機台 8800 (P6-Lab)
Unit ppt
Criteria 偵測極限 Spec. Control limit Pre alert P3 H 2 O 2 COA P4 H 2 O 2 COA 管路FLUSH前 管路FLUSH後
Na 1 30 24 3 6 6 2.550 1
Mg 1 20 16 4.6 2 2 1 1
Al 1 20 16 8.1 2 2 1.148 1

Ca 1 30 24 10 2 2 1.208 1
Cr 1 20 16 3.4 2 2 1 1
Fe 1 20 16 6.7 2 2 1 1
Co 1 10 8 3.9 5 5 1 1
Ni 1 20 16 2.2 2 2 1 1

Cu 1 20 16 3 2 2 1 1
Zn 1 20 16 7.3 2 2 1 1
Ag 1 10 8 3 2 2 1 1
Pb 1 10 8 2.1 2 2 1 1
K 1 20 16 6.3 5 5 2.365 1

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