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TSMC/ Facility Published

4.2 聯通化學品 particle 量測

H 2 O 2 COA PA 0.04μm 如 圖3 所 示， 以 M303 COA CDU Baseline 2.72 品質相同，且較原物料 COA 來
數據平均 0.04μm PA 數量為 6.45，因 CDU 供應有 的好，原因是機台內有 FITER 因此較原物料 COA PA
Filter 因此除了聯通管路外額外量測 CDU 供應時 PA 低為合理的，但 FLUSH 前的 PA 遠高於 COA 以及現
baseline，量測為每小時 5 筆並連續量測 4 小時， 行供應的 baseline 若直接供應至線上可能造成 tool
從 圖4 的結果可以看到聯通前的 0.04μm PA 平 均 PA 上升。
達 90，經過管路 FLUSH 後 0.04μm PA 為 3.06，與

圖 3：H 2 O 2 (L13330607)COA 0.04μm PA

圖 4：聯通管路 PA 量測 DATA

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