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TSMC/ Facility Published
4.2 流體靜置對於冷凝現象之影響
氣體冷凝現象的產生除了壓力溫度因素以外，另一重 盤查 F14P56 Toner 供應管路圖 ( 圖 14) 與各組 PCM
要因素為靜置。以 4.1 上述說明克服 DCS 因溫度而產 對應之原物料供應方式 ( 表4)，比較後發現 F14P5
生的冷凝現象後，F14P5 額外發現 Toner 供應系統存 PCM 由於線上機台並未全部開啟使用，因此其 Toner
在閒置管路 (Dead zone)，其閒置效應將趨使氣體產 至 PCM 段管路存在 dead zone，再依 F14P5 實際現
生冷凝之現象，導致 EPI 生長晶圓矽層厚度異常 ( 如 場管路配置圖 ( 圖 15) 發現其閒置管路長度約 21m 之
圖 13)，以此次廠內膜厚經驗大於一個月未流動之管 六分管，體積約4L，進而導致冷凝現象的產生。
路流體皆有此風險，各廠區可盤查未供應之氣櫃系統
檢視閒置管路是否存在。
圖 13：EPI 生長晶圓矽層厚度異常
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