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VOL.52 廠務季刊 二氯矽烷供應系統之冷凝現象探討

圖 14：F14P56 Toner 供應管路圖

表 4：F14P56 DCS PCM 對應之原物料供應方式

源頭供應方式
Phase 氣櫃來源 PCM 總長(m)
B鋼 Toner
EGCF203 EPCM204 44.5 V X
EGCF403 EPCM303 31.8 V X
EGCF405 EPCM406 32.6 V X
P5
EGCF402 EPCM301 29.5 V X

EPCM302 30.6 NA V
EGCF601
EPCM304 32.9 NA V
EPCM302 27.1 NA V
EGF401
EPCM301 29.1 NA V
EPCM101 32.4 NA V
P6
EPCM102 30.2 NA V
EGCF402
EPCM201 27.7 NA V
EPCM202 25.4 NA V

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