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VOL.52 廠務季刊 新世代製程之水系統創新管理對策
表 2：UPW Defense 機制與 Quality 精進改善
Category Description 效益 N5已精進之防禦機制
DC Bank備援工程 提升重要Pump 鋰鐵電池2組對應1台Pump
(電池與Pump為1對1) 備援時間
樹脂再生洩漏防禦 再生藥劑洩漏 產水閥後導電度計新增與注藥閥件新增
(水質異常才知道洩漏) 自動隔絕 Limit Switch及隔離手閥
Defense
N2洩漏防禦 避免人員缺氧 氮封桶設Exhaust抽氣、新增自動遮斷
(N2暴露環境風險) 生命安全 閥、新增人孔開啟警報
DCS圖控防呆工程 重要控點管控
SPC及控點操作需輸入密碼
(控點無防呆，人員MO) 避免人員MO
UF型號升級 提升UPW出口
新型OAT-6036，過濾分子量4,000Da
(舊型OLT-6036，過濾分子量6,000Da) 水質Particle
MD焊道改良 提升UPW
Quality MD氮氣入出口改以全焊道方式施作
(N2入出口以鎖牙工法) 出口水質DO
ICW智能加藥工程 提升UPW
餘氯計Online監控，即時調整加藥
(無on-line餘氯計監控) 出口水質TOC
表 3：PCW Defense 機制與 Quality 精進改善
Category Description 效益 N5已精進之防禦機制
圓盤紀錄器應用 使用圓盤記錄器作保壓監控，
大幅降低送水滲漏問題
(保壓使用壓力錶頭) 即時與連續紀錄保壓數據(24hr)
Defense
彈性接頭鎖固規範 防震接頭依標準方法安裝，
堵絕送水彈性接頭爆管
(無鎖固規範) 鎖固規範(325±10mm)(扭力75~100N-m)
動力線干擾改善
解決訊號干擾問題 將動力線改善合適長度後大幅解決訊號干擾問題
(動力線與訊號線干擾)
Quality
建廠初期換水作業 建廠初期系統進行換水動作並清洗管路，
穩定SF壓差爬升
(無進行換水作業) 穩定水質並減少Filter更換頻率
表 4：WWT Defense 機制與 Quality 精進改善
Category Description 效益 N5已精進之防禦機制
他廠備援機制 建立備援機制，
建立F18B廢水系統備援管路機制
(無互相備援機制) 增加建廠初期調度能力
Defense 灌充口管理 a. 以手機APP進行掃條碼作業
a.現場無顏色管理 b. 現場進行顏色管理與告示
杜絕灌充錯誤問題
b.無FAM進行管理 c. 納入PMOI管理
c.無alarm卡控 d. 新增barcode bypass警報
WSR稀釋法 a. 進行H 2 O 2 高低濃度分流
Quality 加速達成新成廠硫酸零外購
(新廠H 2 O 2 濃度不足) b. 低濃度H 2 O 2 以稀釋法進行產酸
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