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VOL.52 廠務季刊 新世代製程之水系統創新管理對策

圖 1：廠務 UPW 供應設備機台管路示意圖

3.2 使用新工具GCMS輔以機台化學品大量洗淨管理辦法

機台從無到有分為以下階段：放樣→基座→會勘 搭配 GCMS 系統進行防禦管理對策，GCMS 系統可快
→ HK-T1 → Move in →裝機→驗機→移交上線，其 速查詢機台即時用量，設定廠區、化學品種類、供應
中驗機階段設備開始進行機台化學品清洗，俗稱 A1 時段及確認是否要鎖定特定機台，可進行二次驗證化
port flush，該階段將會大量使用化學品洗淨機台內 學品用量是否有異常使用狀況，並可快速找出異常用
部單元，新成廠此階段廠務端系統建置常尚未達完 量機台，搭配廢水回收處理系統 trend chart 即可找
備，處於廠務高風險期間，為保障機台上線順利，廠 出異常機台，有效避免異常情況擴大。
務第一步驟需依全廠用量進行用量管制，並有序開放
洗淨量，並根據機台需求平均分配機台洗淨量管制且 最終在水處理系統均以建置完成後，針對運轉高風險
不得超過訂定之洗淨總量。( 表6) 之化學品，訂定化學品用量警報，於源頭進行風險卡
控，有效避免異常情況發生。根據實際運轉與過往經
驗訂定兩樣化學品用量警報，如表7 所示。
表 6：廠務與設備合作化學品洗淨量管制

NH 4 OH 開放洗淨量 廠務系統配套功能 表 7：訂定 F18B 化學品用量警報
第一階段 150L/hr 放流折點功能啟用 F18B 根據經驗訂定
Chemical 用量
化學品用量警報
第二階段 250L/hr MD 一段系統完成 瞬時用量黃燈警報 400(L/hr)
NH 4 OH 瞬時用量紅燈警報 450(L/hr)
第三階段 400L/hr MD 二段系統完成
最大日用量警報 10,200(L/D)
瞬時用量黃燈警報 930(L/hr)
H 2 O 2 瞬時用量紅燈警報 1,020(L/hr)
最大日用量警報 22,000(L/D)

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