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TSMC/ Facility Published

結果與分析

4.1 純水配合機台大量洗淨成果

4.1.1 新裝機 UPW Particle 快速洗淨 SOP

F18P6 之 FWR Bay 的 FC-3100 型機台，於 UPW Turn
on 並經過 10 天以上的 Flush 後，純水管路之 Particle
無法通過第一階段 Release 標準 (10 分鐘內量測 40nm
以上之 Particle 小於 100 顆 )。( 圖4)

依據大量洗淨 SOP 重新設定該台機台的 Flush 參數
2
( 流 量 15CMH、 壓 力 3.5kg/cm )，經調整後該機台
之 Particle 於 5 小時內即達標 ( 小於 100 顆 )。依據上
述管理機制與 SOP 進行機台端驗機時程調配後再進行
UPW 管路 Particle 洗淨，有效縮短機台端 Release 期
程，且洗淨期間純水系統負載獲得有效控制。

4.1.2 配合線上化學品大量洗淨需求
F18P6 於成廠後九個月機台即 turn on 75%，面對如此
快速的裝機速度，共達成以下里程碑，完成 35 台 WET
機台 NH 4 OH Flush( 累積達 2,280 噸原液 )，期間放流 圖 4：新機台透過 UPW 快速洗淨 SOP 其 Particle 下降
水污水質狀況均正常，無超標。( 圖5) 情形

圖 5：F18P6 於成廠後九個月機台即 turn on 75%

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