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TSMC/ Facility Published

4.2 成果歸納與未來建議

化學供應系統從管路配置到桶槽 DI pre-purge，再 驗機的程序，設備機台 wet pa 驗證時間從 6M 縮短
透過原液進料酸洗內襯表層，經過足量的 lorry out/ 到 70D，歸功於將整體 Chemical flush，從前期基礎
soaking/flush 達到稀釋金屬離子與 particle 置換效 強化 DI 洗桶，再連結利用進酸期間把系統的旁枝末
果，洗酸過程除了工序進度，再依工廠需求排定房間 節一路洗淨到底，將補酸與排酸的路徑詳細制定標準
土建消檢與四合一建置，能確保後續驗機作業可以及 化，避免交叉污染重複洗酸作業，掃除呆管效應提升
時進酸跟上大盤腳步 ( 圖6)；從圖7、圖8 觀察 HT- flush 效率，創造了高效驗機的機會點。
H 2 SO 4 wet pa 下降曲線，一路從 N5 到 N3 不斷演進

圖 6：P6A 送酸累計統計表

圖 7：18A(N5 製程 ) HT-H2SO4 WET PA Off-line Chart

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