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TSMC/ Facility Published

3.3 PCW高風險機台擬定turn on後管理辦法

PCW 製程冷卻水系統是封閉式的循環系統，若因設 PCW 高風險機型，並與設備訂定高風險機台管理措
備誤操作閥件，將導致系統失水與氣體回灌造成回 施。( 表8、表9)
水壓異常，嚴重可能影響 PCW 供應壓力。本文彙整

表 8：高風險失水機型與訂定 turn on 後 SOP

Dept. LIT EPI DIF PVD LIT

Owner EUV附屬機台 ASM的 chamber Passivation Alloying Baking機台 Photo機台scanner
步驟 高風險失水機台turn on SOP

1 於turn on前進行失水預防改善，提前通知設備
2 在turn on後針對PCW Drain閥件以束線帶固定並掛上告示牌

3 設備如需開PCW Drain閥使用，務必通知廠務水課值班紀錄控管

表 9：高風險氣體回灌機型與訂定防禦機制

Dept. PVD CVD DIF ETC

Model Hitachi HKE DG4150 LAM Striker HPSP辛耘GENI-SYS Hitachi J-9012
Action N2內聯管 移除+Cap CDA內聯管 移除+Cap 閥件Lock/PM SOP 閥件Lock/PM SOP

3.4 使用新工具iFaxt管理廠務系統與線上機台供應品質穩定度

iFaxt 為串接廠務 InSQL Tag 與下游供應 FAB Tool 關 iFaxt 常用於設備機台狀態改變時，查詢機台 FDC
聯之平台，可讓使用者透過此系統快速查詢異常 Tag chart，確認下游機台動作與狀況，同時瀏覽廠務端
影響之 Tool 清單，增進應變速度。其原理為透過原 submain 供應狀態，避免影響產線供貨，增加緊急應
Bluebook2.0 系統上的廠務端管路與設備端機台連 變反應時間。水系統課常用於應對 PCW 供應溫度變
結，並與廠務端 SCADA tag name 結合，包含 FDC 化，透過查詢得知如因 EUV 機台雷射測試，導致用量
chart、Tool status 等，透過跨平台資訊的整合，搜 變化，影響整個系統控溫、控壓穩定度，快速與設備
尋時間可由 50 分鐘降至 5 分鐘，流程的精簡化，同 端確認是否動作，減少判斷失誤率，提升整體系統穩
時擁有多元資訊，ex: Tool status、FDC chart、FAC 定度。如圖2 與圖3。
chart 等。

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