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VOL.52 廠務季刊 新成廠化學供應系統快速驗機方法與實務

圖 8：18B(N3 製程 ) HT-H2SO4 WET PA Off-line Chart

結論 參考文獻

雖然 P6 工程落後大盤進度，但是優化洗桶程序與建 01. F15P5 Start-up Sharing Workshop-Chemical篇。
立 flush 標準化，確實有效率地提升驗機前期成果，
02. 藏經閣 :CDS Package 20140922 REV。
對於整個系統大盤提供穩定的動能，能讓整個送酸計
畫得以延續不中斷，進而達到 CST 機台要酸目標； 03. 藏經閣 : 華爾卡台灣教育訓練。
除了系統 sign off 瓶頸的關鍵之外，還有一項 . 毒化
04. 維基百科 : 雷諾數定義。
物使用執照取得時間，以 18P6 取得時間是成廠後 40
天，水課的廢水處理槽也無法回收，會影響 HF 系列
的進酸與 flush 時程，故調整 HF 系列桶槽作業，順
利完成進酸置換程序，經過泡酸後再泡水洗淨，連續
2 筆取樣都進 1-sigma spec，驗證水洗對於氟系鹽類
作者介紹
移除有效；從 18A wet pa 驗證演進到 18B 建立洗桶
標準化程序，改善系統 QC 驗證時間，最後 18P7 嘗
試利用 CDU 增加磁浮 Pump Loop 循環得到加速排
張碩修 Shuo-Hsiu Chang
泡的效果，已從 HT-H 2 SO 4 wet pa 結果中得到驗證，
未來新廠可以此法為基礎設計或建置外接模組，讓設 用道理說服別人相信自己，不如用實際
行動去實現自己。
備在加速驗機的效能提升。

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