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TSMC/ Facility Published
















                    案例二：LSR(I) 原水 pH 有異常偏低，系統異常時工                  化學品，並比對。針對系統受影響範圍鎖定特定化學
                    程師往往藉以人工採樣或電話確認的方式進行源頭查                        品，可快速篩選對應機台，並與其設備比對相關動作，
                    找，尤其在建廠初期各機況差異性較大，異常情況發                        快速排除異常狀況。( 圖7)
                    生較為頻繁，利用 GCMS 可快速查詢出異常機台使用






















































                    圖 7：LSR(I) 來源 pH 異常透過 GCMS 快速查得對應機台











                                                                                                           ���
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