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VOL.52 廠務季刊       新世代製程之水系統創新管理對策













              4.2  新工具GCMS管理LSR來源異常排放案例

              案例一：機台 HCl 要酸量由 50s/hr 調整至 100s/hr，             上升以致系統後段出口將無法穩定的供應。經由 GCMS
              影響 LSR 系統出口導電度 baseline 由 350μS/cm 上升           可即時鎖定相關機型，並與其對應設備訂定 Chemical
              至 500μS/cm，影響膜通量的因素有溫度、壓力、離子                    洗淨量與通報管理機制，避免異常擴大。( 圖6)
              濃度等，如果離子濃度過高會導致 RO 通量下降、膜壓






















































              圖 6：LSR 來源導電度異常透過 GCMS 快速查得對應機台











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