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VOL.52 廠務季刊 先進封裝製程廢水零排評估與規劃

實驗方法

❷操作流程 本研究對 TSMC AP3 廠區廢水系統水質進行水質
分析，採樣點位選用將進入放流槽前之水體進行分
友達於評估廢水零排放前，已對廠內廢水進行詳細分
析，相關採樣點如圖1 所示，分析水質項目共 38
流，最終分成四股來源 : ➀再生廢水；➁有機廢水⑴；
類如表2 所示，後續依照水質及各系統水量進行前
➂有機廢水⑵；➃雜項廢水，分別規劃系統進行濃縮。
處理及濃縮處理的 Model Test，進行系統架構設
其流程如下 :
計與效益等評估。
➀再生廢水→混凝沉降→MF→EDR→蒸發罐→乾
燥機
3.1 水質分析方法
➁有機廢水⑴→BIO(A/O)→MBR→RO→EDR→蒸
發罐→乾燥機 零排水質分析項目共 38 項，主要針對水中陰離子
(Anion)、 陽 離 子 (Cation)、 有 機 物 (Organic)、
➂有機廢水⑵→BIO(A/O)→MBR→RO→RO→EDR TDS、硬度、鹼度等易造成後續處理設備結垢及腐蝕
→蒸發罐→乾燥機
等項目進行分析，各項對應分析方法如表3 所示。
➃ 雜 項 廢 水→ 混 凝 沉 降→BIO(A/O)→MBR→RO
→EDR→蒸發罐→乾燥機 3.2 薄膜評估軟體模式

友達廢水特性含有機物，設計時採生物與 MBR 膜進行前 規劃流程內採大量膜處理技術進行模擬，包含 BWRO
處理，再利用 RO 與 EDR 進行濃縮測提濃，將 TDS 提濃 (Dupont 型 號 : Frotilife CR100) / NF 等， 依 照 規 劃
至 10,000mg/L 後進蒸發罐及乾燥機產出混鹽清運。 需 求 之 膜 製 造 商 (Dupont、Veolia)， 選 用 Dupont
Model“WAVE”及 Veolia Model“Winflows”等軟體。
❸操作狀況及問題
3.3 熱處理技術軟體模式
友達廠區為早期廢水零排設計廠，規劃上以「產水」
為考量，剩餘濃縮側即利用熱處理技術與乾燥機將混
規劃流程內最終處理方是為熱處理技術，此次處理單
鹽產出，故依友達設計經驗提出幾點討論：
元選用化工常用 Model“Aspen plus”模擬，得出氣
側及液側水量及離子分布。
➀蒸發罐處理量設計：依 RO-EDR 後 TDS 約為 1%，
因此濃縮負荷主要壓在蒸發罐上，造成運轉操
作成本高。目前實廠經驗可用高壓 RO 膜濃縮至
TDS = 60,000-80,000mg/L，得以減少蒸發罐
大小，並降低熱處理成本。
➁磷酸根殘留：EDR 隨著系統操作及膜清洗後，
磷酸根去除率隨之降低，然而磷酸殘留於產水
側，造成純水系統負荷提高。

➂固體物處理未從完整考量後續鹽類可再用方式，
廢棄物清運提高操作成本。目前實廠經驗可藉由
分鹽技術產工業鹽，降低廢棄物清運成本。

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