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TSMC/ Facility Published
圖 1：TSMC AP3 廢水系統 Flow chart
表 2：ZLD 水質分析項目及分析單位
廠務實驗室量測 委外量測項目 Site
銨離子 Ca In BOD 鹼度 pH
硝酸根離子 Mg Ga COD 總硬度 CIT
磷酸根離子 Mn Cd TOC 鈣硬度
氯離子 B Cr SS
硫酸根離子 Al Si TDS
Na Cu Urea 丙酮
K Fe IPA
F Mo 小分子 TOC
Br As 油脂
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