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TSMC/ Facility Published

❷膜濃縮 ▪ NF 濃排側 ( 二價鹽 )
預計進入蒸發塔水量共 87CMD，經 Model 計
▪ RO 濃縮
算蒸發塔後可減少 86.8% 水分，而 TDS 從
經由前處理將硬度去除至 BWRO 入水標準，
27,644mg/L 至 188,661mg/L。於理想狀況下，
本 評 估 使 用 Dupont BWRO( 型 號 : Frotilife
於結晶罐每日產鹽量為 Na 2 SO 4 : 1.04頓/日( 純
CR100)， 模 擬 設 計 採 4-Stage RO 設 計， 規
度 98%)，雜鹽量為 1.30頓/日。
劃水回收率可達 89% & 阻鹽率達 99%。由
BWRO 濃縮後，其廢水量 ( 濃排 ) 降至 248CMD
4.2.2 高COD類
(TDS=17,622mg/L)，其中總硬度僅 4.38mg/L
2+ 2+
as CaCO 3 (Ca =1.47mg/L；Mg =0.17mg/L) ， ❶前處理
經模擬確認於後續流程 NF 膜仍可通過 ( 無結垢 依照分類平衡水質水量結果，此類來源水總量為
風險 )。 1,346CMD(TDS=78.7mg/L)，其COD達182mg/L(小
分子 TOC=31,149ppb as C)，採用生物單元降解
▪ NF 分鹽
有機物 (COD 去除率 =70%；需依實驗結果修正去
利用 Veolia NF 膜 ( 型號 : DK8040F30) 可達水
除率 )，推估產水 COD 為 54.5mg/L。
回收率 72% 二價阻鹽率為 98%，計算產水側 ( 一
價鹽側 ) 水量為 161CMD(TDS=12,143mg/L)， ❷膜精煉
+
其中一二價離子濃度分別為 Na =4,636mg/L ; 藉由 RO 膜將此類進行水質精煉，規劃水回收
−
2−
Cl =7,022mg/L；SO 4 =18.0mg/L， 結 果 顯 示 率 達 80%& 阻 鹽 率 達 99%， 得 產 水 量 為 1,077
能有效分離出一價鹽，以利後續一價鹽資源化再 CMD，其中 COD=0.68，產水需依照製程用水水
利用。 池水質 Baseline 進行在精煉，特別是小分子 TOC
NF 濃 縮 測 ( 二 價 鹽 側 ) 水 量 為 87CMD(TDS= (Baseline=100-200ppb as C)，以確保可達製程用
27,644mg/L)， 一 二 價 離 子 濃 度 分 別 為 需求。
+ − 2−
RO 濃排濃排水規劃回至 ZLD 化混類處理單元，經
Na =9,701mg /L ; Cl =7,536mg /L；SO 4
=9,907mg/L，結果顯示硫酸鹽濃度提升 2.84 由後續各段提濃，最終至二價蒸發結晶設備產出部
倍 (3,483 → 9,907mg/L)，但氯鹽濃度仍高，故 分雜鹽。
後續須於熱處理技術利用其濃度與結晶點差異，
提升回收二價鹽純度，以達再利用標準。
4.2.3 高磷酸鹽類
❸熱蒸發程序
此類來源單一，主要為線上使用蝕刻廢液 W-LDPP
膜濃縮後可將水體區分為 NF 產水側 ( 一價鹽側 ) (2-3%H 3 PO 4 )，故可評估先將水中雙氧水利用酵素去
2+
3−
及 NF 濃排側 ( 二價鹽側 )，依序利用 Model 計算 除後藉由 BPED 將陰陽離子 (PO 4 /Cu ) 分離後進行
機械式再壓縮蒸發塔與結晶鹽分布狀況。 提濃，評估磷酸回收系統進行資源化使用。
▪ NF 產水側 ( 一價鹽 )

預計進入蒸發塔水量共 161CMD，經 Model 計
算經蒸發塔後可減少 96.8% 水分，而 TDS 從
12,143mg/L 至 172,159mg/L，於結晶罐每日
產鹽量為 NaCl : 1.78頓/日( 純度 98%)，雜鹽量
為 0.08頓/日。

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