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TSMC/ Facility Published

結果與分析

4.1 廢水水質特性分析

針對各來源水槽水質結果分析，廠區內各來源水槽特 High COD & Low Hardness，故依此特性規劃生物系
性可依照「有機物」、「硬度及鹼度」與「磷酸鹽」 統進行前處理，各股如下：
等類別進行區分，各類與各股來源水特性介紹如下。
❶ AOR(Advanced organic reclaim)：為機台有機化
學物使用後清洗水。
4.1.1 硬度 - Hardness
廢水中硬度主要來源為「廢水系統中化學藥品 (CaCl 2 ) ❷ CWD(Caustic Wastewater Drain)：為部分機台使
添加」及「純水系統樹脂吸附後再生」產出，硬度為 用 IPA 造成。
300-1000mg/L as CaCO 3 ，各股特性如下：
4.1.3 磷酸鹽 - Phosphate
❶純水再生廢水 -2B3T&MB：陽離子樹脂吸附純水中
2+ 2+
的 Ca 、Mg 等，再經由再生產出。 廢水中磷酸鹽來源主要為線上使用蝕刻廢液
(W-LDPP)，H 3 PO 4 濃度為 2-3%，故可藉由獨立將此
3−
❷混凝系統 (Metal & HF)：為處理廢水中 PO 4 & F −
廢液資源化以避免磷酸鹽對零排處理系統的影響。
2+
添加 CaCl 2 ，產出 Ca 。
❶ Cu-Resin 產水 : 處理 W-LDPP 廢液中的銅後，產
❸污泥濃縮槽：污泥來源為 HF & Metal 等混凝系統
出之廢水內留下 H 3 PO 4 需進行進一步處理。
含鈣污泥溶出。
❹有機廢水處理 ROR：有機來源類經生物處理後最終 4.1.4 其他
濃縮水於此進行混凝。 「TMAH NF 濃排」含高濃度COD/鹼度/TMAH等( 如
表4)，化合物含「N」將大幅增加建造成本，且恐造
4.1.2 有機物 - BOD/COD/TOC 成產鹽純度與色度問題，整體而言不易零排系統處
理，基於成本考量將評估此類水將規劃清運處理亦或
廢水中有機物來源主要為線上機台「有機化學物清洗
廠內既有生物處理。
水」及「IPA 使用」，濃度約 100-900ppm，特性皆為

表 4：各廢水槽來源水質狀況

前處理方法 生物前處理 化混前處理 磷酸回收 Other
AWD
( 比較值 )
再生廢水 再生廢水
水質項目 AOR CWD Metal-A Metal-B HF Sludge C/T Bio CuResin NF 濃排
-2B3T -MB
TDS 30.0 559.0 5734.5 4759.0 4347.5 2923.5 1478.5 1943.5 823.0 407.0 6064.0 17972.5 36.8
COD 107.0 919.0 32.5 41.0 199.5 171.5 36.0 62.0 26.5 44.5 760.0 5823.5 160.5
鹼度 10.2 124.4 107.2 1657.9 91.6 193.0 18.9 70.9 243.0 17.9 - 6458.7 4.6
硬度 1.6 ND 1253.0 53.0 1034.0 398.0 379.0 485.0 45.0 194.0 25.0 - 0.6

磷酸 <0.1 1.8 <1 <1 0.9 7.1 <0.2 3.2 4.5 6.3 2131.0 <2.5 <0.1

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