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VOL.52 廠務季刊 先進封裝製程廢水零排評估與規劃
表 3:分析項目 & 方法 & 單位
類別 分析項目 分析方法 分析儀器型號 分析單位
−
F 離子層析儀 thermo IC aquion FTDD
−
Cl 離子層析儀 thermo IC aquion FTDD
− 離子層析儀 thermo IC aquion FTDD
NO 3
−
Anion Br 離子層析儀 thermo IC aquion FTDD
3−
PO 4 離子層析儀 thermo IC aquion FTDD
2−
SO 4 離子層析儀 thermo IC aquion FTDD
Si 原子吸收光譜儀或 NIEA W450.50B ICP-OES FTDD
+ 氨選擇性電極 / 離子層析儀 thermo IC aquion FTDD
NH 4
+
Na 離子層析儀 thermo IC aquion FTDD
+
K 離子層析儀 thermo IC aquion FTDD
Al 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
As 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
Ca 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
Cd 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
Cr 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
Cation
Cu 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
Fe 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
Ga 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
In 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
Mg 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
Mn 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
Mo 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
B 感應耦合電漿發射光譜儀 ICP-OES FTDD
Urea 液相層析質譜儀 LC-MSMS FTDD
IPA 氣相層析質譜儀 GC-MS ITRI
Acetone 氣相層析質譜儀 GC-MS ITRI
小分子 TOC LMW-TOC (SEC-TOC) Sievers M9 SEC ITRI
Organic
BOD NIEA W510.55B ITRI
COD NIEA W515.54A ITRI
TOC NIEA W534.50C ITRI
油脂 NIEA W505.52C ITRI
Conductivity 導電度計 CDC40101 AP3 FAC
pH pH 計 PHC10101 AP3 FAC
SS NIEA W210.57A ITRI
Other TDS NIEA W210.57A ITRI
鹼度 NIEA W449.00B ITRI
總硬度 NIEA W208.51A ITRI
鈣硬度 NIEA W208.51A ITRI
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